[发明专利]载置台装置和处理装置

权利要求书

1.一种载置台装置，其具备：

载置台，其在真空容器内保持被处理基板；

冷冻传导体，其以与所述载置台隔着间隙的方式固定配置于所述载置台的背面侧，被冷冻机冷却成极低温；

冷却流体，其向所述间隙供给，用于将所述冷冻传导体的冷能向所述载置台传导；

载置台支承部，其将所述载置台支承成能够旋转，呈覆盖所述冷冻传导体的上部的圆筒状，并且具有真空绝热构造；以及

旋转部，其支承所述载置台支承部，在被磁性流体密封着的状态下被驱动机构驱动而旋转。

2.根据权利要求1所述的载置台装置，其中，

所述载置台支承部的主体部具有由内管和外管构成的双层管构造，所述内管与所述外管之间的内部空间被保持在真空。

3.根据权利要求2所述的载置台装置，其中，

所述载置台支承部配置于与所述真空容器连通的真空空间，在所述外管具有多个通孔，所述内部空间经由所述通孔与所述真空空间连通而设为真空空间。

4.根据权利要求2或3所述的载置台装置，其中，

所述载置台支承部的所述主体部具有缩径部，与所述缩径部相对应的水平部由无垢板构成。

5.根据权利要求2或3所述的载置台装置，其中，

所述载置台支承部的所述主体部具有缩径部，所述主体部的整体具有所述双层管构造。

6.根据权利要求2～5中任一项所述的载置台装置，其中，

所述外管具有曲折而成的曲折部。

7.根据权利要求2～6中任一项所述的载置台装置，其中，

所述载置台支承部的所述主体部还具有设置于所述外管的外侧的辐射热遮蔽体。

8.根据权利要求1所述的载置台装置，其中，

所述载置台支承部配置于与所述真空容器连通的真空空间，所述载置台支承部的主体部具有：内管；一对凸缘，其设置于所述内管的上端和下端；以及多个轴，其以将所述一对凸缘相连的方式配置到所述内管的外侧。

9.根据权利要求8所述的载置台装置，其中，

所述载置台支承部还具有设置于所述内管的外侧的辐射热遮蔽体。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的载置台装置，其中，

所述载置台具有静电吸附所述被处理基板的静电卡盘。

11.根据权利要求10所述的载置台装置，其中，

向所述间隙供给的所述冷却流体是第1冷却气体，所述第1冷却气体在设置于所述冷冻传导体内的第1冷却气体流路流通而向所述间隙供给。

12.根据权利要求10或11所述的载置台装置，其中，

传热用的第2冷却气体经由与所述第1冷却气体流路不同的第2冷却气体流路向所述被处理基板与所述静电卡盘之间供给。

13.根据权利要求10或11所述的载置台装置，其中，

所述第1冷却气体经由与所述第1冷却气体流路连通的流路向所述被处理基板与所述静电卡盘之间供给。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的载置台装置，其中，

该载置台装置还具备第1绝热构造体，该第1绝热构造体以覆盖至少所述冷冻机的冷头部和所述冷冻传导体的与所述冷头部之间的连接部的方式设置成圆筒状，具有真空绝热构造。

15.根据权利要求14所述的载置台装置，其中，

该载置台装置还具备第2绝热构造体，该第2绝热构造体以覆盖所述冷冻传导体的方式设置成圆筒状，具有真空绝热构造。