[发明专利]解析装置、浮法玻璃制造装置、解析方法及浮法玻璃制造方法

说明书

提供通过抑制金属液槽内的玻璃带在宽度方向上的变动而能够降低玻璃基板的板厚偏差的解析装置、浮法玻璃制造装置、解析方法及浮法玻璃制造方法。浮法玻璃制造装置(1)具备熔融炉(10)、金属液槽(20)、缓冷炉(30)、解析装置(40)。在金属液槽(20)内配置有多对上辊(50)。上辊(50)在与玻璃带(22)接触的顶端部(51)的外周具有多个突起部(52)，并沿流动方向空开间隔地在玻璃带(22)上形成凹部(T)。通过解析装置(40)的拍摄部(41)拍摄凹部(T)，通过图像处理识别部(42)算出凹部(T)的位置及间隔，而确定成为板厚偏差的变动的起因的上辊(50)。

技术领域

本发明涉及解析装置、浮法玻璃制造装置、解析方法及浮法玻璃制造方法。

背景技术

平板显示器(FPD)用玻璃基板的整个面内的板厚偏差对光刻工序中的曝光机的焦点偏离产生影响。FPD用玻璃基板，特别是液晶显示器(LCD)用玻璃基板对于板厚偏差的要求严格，例如要求在1500mm的范围内为20μm以下。板厚偏差是指板厚的最大值与板厚的最小值之差。

作为减少板厚偏差的方法，专利文献1提出了将金属液槽的加热器区域沿玻璃带的流动方向及宽度方向进行划分，在各区段设置多个加热器，按照各区段来控制多个加热器的技术。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-225386号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，即使采用专利文献1的技术，如果金属液槽内的玻璃带沿宽度方向变动，则玻璃带的厚度也会变动，进而存在玻璃基板的板厚偏差增大的问题。并且，玻璃带的宽度方向的变动有时会引起无法满足对于板厚偏差的要求的问题。

本发明鉴于上述课题而作出，主要目的在于提供通过抑制金属液槽内的玻璃带的宽度方向的变动而能够降低玻璃基板的板厚偏差的解析装置、浮法玻璃制造装置、解析方法及浮法玻璃制造方法。

用于解决课题的方案

本发明的解析装置适用于浮法玻璃制造装置，该浮法玻璃制造装置具备使向熔融金属上连续供给的熔融玻璃一边在所述熔融金属上流动一边成形为玻璃带的金属液槽和将所述玻璃带一边通过退火辊传送一边缓冷的缓冷炉，所述解析装置对在所述玻璃带的宽度方向两侧部形成的多个凹部进行解析，其中，所述金属液槽具备沿所述玻璃带的流动方向空开间隔设置的多对上辊，所述上辊在与所述玻璃带接触的顶端部的外周具有多个突起部，对所述玻璃带的宽度方向两侧部进行支承，并沿所述流动方向空出间隔地形成所述凹部，所述解析装置具备：拍摄部，拍摄所述玻璃带的宽度方向两侧部；及图像处理识别部，在对通过所述拍摄部拍摄到的检査图像进行了图像处理的基础上，检测所述凹部的位置，并基于所述流动方向上的所述凹部间的间隔，来识别形成了具有规定的所述间隔的所述凹部的所述上辊。

本发明的浮法玻璃制造装置是具备所述解析装置的浮法玻璃制造装置，其中，基于检测到的所述凹部的位置的随时间变化，来控制所述玻璃带的每一天的引出量、所述退火辊上的所述玻璃带的传送速度、所述顶端部的旋转速度、俯视观察下的所述顶端部与所述玻璃带的传送方向所成的角度、俯视观察下的所述顶端部的位置、及铅垂方向上的所述顶端部的位置中的一个以上。