[发明专利]一种气体转移泵输系统及方法

权利要求书

1.一种气体转移泵输系统，其特征在于，所述气体转移泵输系统包括：

第一容器，用于存储原始气体；

升压单元，与所述第一容器通过管路连通，用于对所述原始气体进行升压至第二压力设定值得到第二升压气体；

第二容器，与所述升压单元通过管路连通，用于存储所述第二升压气体；

压力传感单元，分别与所述升压单元、所述第一容器和所述第二容器连接，用于测量气体压力值；

控制单元，分别与所述压力传感单元和所述升压单元连接，用于根据所述气体压力值控制所述升压单元并获取所述升压单元参数，以使根据所述升压单元参数判断所述升压单元的工作状态；

真空单元，与所述升压单元通过管路连通，用于对所述升压单元和管路进行抽真空；

所述升压单元包括：

第一气泵，与所述第一容器通过管路连通，且与所述控制单元连接，用于在所述控制单元控制下将所述原始气体升压至第一压力设定值得到第一升压气体，同时所述控制单元获取所述第一气泵的工作电流，以使根据所述第一气泵的工作电流判断所述第一气泵的工作状态；

第二气泵，分别与所述第一容器、所述第一气泵、所述第二容器通过管路连通，且与所述控制单元连接，用于将所述第一升压气体或所述原始气体升压至第二压力设定值得到第二升压气体并输送至所述第二容器，同时所述控制单元获取所述第二气泵的工作电流，以使根据所述第二气泵的工作电流判断所述第二气泵的工作状态。

2.根据权利要求1所述的一种气体转移泵输系统，其特征在于，所述压力传感单元包括：

第一压力传感器，设置在第一管路和第二管路之间重叠的管路上，且与所述控制单元连接，用于获取所述原始气体的压力值并发送给所述控制单元；所述第一管路为所述第一容器与所述第二气泵之间的管路，所述第二管路为所述第一容器与所述第一气泵之间的管路；

第二压力传感器，设置在所述第一管路和第三管路之间重叠的管路上，且与所述控制单元连接，用于获取所述第一升压气体的压力值并发送给所述控制单元；所述第三管路为所述第一气泵与所述第二气泵之间的管路；

第三压力传感器，设置在第四管路和第五管路之间重叠的管路上，且与所述控制单元连接，用于获取所述第二升压气体的压力值并发送给所述控制单元；所述第四管路为所述第二气泵与所述第二容器之间的管路，所述第五管路为所述第一气泵与所述第二容器之间的管路。

3.根据权利要求1所述的一种气体转移泵输系统，其特征在于，所述气体转移泵输系统还包括：

第一温度传感器，与所述第一气泵相对设置，且与所述控制单元连接，用于获取所述第一气泵的温度得到第一温度值并发送给所述控制单元；

第二温度传感器，与所述第二气泵相对设置，且与所述控制单元连接，用于获取所述第二气泵的温度得到第二温度值并发送给所述控制单元；

制冷单元，分别与所述第一气泵和所述第二气泵相对设置，且与所述控制单元连接，所述控制单元根据所述第一温度值和/或所述第二温度值控制所述制冷单元对所述第一气泵和/或所述第二气泵进行降温。