[发明专利]二维铌酸锶纳米片紫外光电晶体管探测器

权利要求书

1.一种二维铌酸锶纳米片紫外光电晶体管探测器的制备方法，其特征在于，

该探测器包括：

SiO₂/Si衬底；

旋涂分散于SiO₂/Si衬底上的铌酸锶纳米片，用于实现紫外光探测；

与纳米片上表面接触的铬-金电极，用于进行载流子收集；

具体步骤如下：

（1）铌酸锶纳米片制备，其步骤为：99.9%纯度的固态Cs₂CO₃、SrCO₃和Nb₂O₅粉末，按照摩尔比1：（1.5-2.5）：（2.5-3.5）混合研磨0.5-6小时，在1150~1400℃下高温烧结6-48小时，产物随炉冷却；将所得产物与1~5mol/L盐酸混合，进行离子交换3~7天，之后以超纯水洗涤产物并烘干；将所得产物与等摩尔比的四丁基氢氧化铵混合，用多用振荡器在室温下震荡7~14天，离心，得剥离完成的铌酸锶纳米片；

（2）铬-金电极的制备，其步骤为：清洗SiO₂/Si衬底表面，并将衬底吹干；将步骤（1）所得铌酸锶纳米片旋涂分散于衬底表面；定位纳米片后，旋涂光刻胶，利用紫外光刻在铌酸锶纳米片上表面制备电极图案，以电子束蒸发或热蒸发法沉积铬-金接触电极层，电极厚度为30nm~60 nm，去除光刻胶并烘干，即得铌酸锶纳米片光电晶体管。