[发明专利]一种电磁悬浮微质量测量系统在审
| 申请号： | 201910998527.0 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110702795A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 肖奇军;肖超予;罗忠辉 | 申请（专利权）人： | 肇庆学院 |
| 主分类号： | G01N29/12 | 分类号： | G01N29/12;G01G3/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 526061 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 锁相放大器 激振信号 控制器 发生器 高压放大器 前置放大器 电磁悬浮 控制电压 谐振频率 合成器 微质量 放大器 低通滤波电路 测量精度高 发生器连接 微质量测量 输出 检测信号 交流电压 控制电极 移相电路 质量测量 轴向振动 转换电路 乘法器 静电力 输出端 输入端 激振 放大 | ||
1.一种电磁悬浮微质量测量系统，其特征在于，包括检测信号发生器、前置放大器、锁相放大器、激振信号发生器、高压放大器、控制电压合成器、移相电路及控制器；锁相放大器包括相连接的乘法器和低通滤波电路，乘法器分别与前置放大器、移相电路连接，低通滤波电路与控制器连接；检测信号发生器分别与控制电压合成器、移相电路连接，移相电路与锁相放大器的乘法器连接；前置放大器包括相连接的I-V转换电路、放大器，I-V转换电路用于采集电磁悬浮微质量测量系统的质量块振幅信息，放大器经锁相放大器后与控制器的输入端连接；控制器的输出端与激振信号发生器连接，所输出的激振交流电压经高压放大器放大、控制电压合成器处理后输入到电磁悬浮微质量测量系统机械结构的控制电极对上，通过产生的静电力控制电磁悬浮微质量轴向振动。
2.根据权利要求1所述的电磁悬浮微质量测量系统，其特征在于，所述控制器包括一路A/D转换电路和三路I/O输出电路，通过I/O输出电路输出到激振频率发生器产生激振电压经过高压放大器后转换成等量异号电压到相应的控制电极对，通过A/D转换电路将质量块轴向振幅电压信号转换成数字信号。
3.根据权利要求1所述的电磁悬浮微质量测量系统，其特征在于，所述I-V转换电路与公共电极连接，用于获取微质量轴向振动位移信号。
4.根据权利要求1所述的电磁悬浮微质量测量系统，其特征在于，所述激振信号发生器和检测信号发生器的DDS电路采用AD9832芯片。
5.根据权利要求2所述的电磁悬浮微质量测量系统，其特征在于，所述控制器为DSP或ARM控制器。
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