[发明专利]基于硅基微环的大范围带宽可调微波光子滤波器

权利要求书

1.一种基于硅基微环的大范围带宽可调微波光子滤波器，其特征在于，包括硅基平台、微环、第一波导、第二波导、第一电极和第二电极，所述微环、第一波导、第二波导、第一电极和第二电极放置在硅基平台之上，所述第一波导和第二波导紧邻微环的两侧对称放置，所述第一波导和第二波导为弯曲波导，所述第一波导、第二波导的弯曲部分与微环发生耦合；所述第一波导和第二波导上分别设有第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极分别用于加热第一波导和第二波导；所述第一波导上设有输入端和输出端，所述输入端和输出端分别用于输入和输出光信号。

2.根据权利要求1所述的基于硅基微环的大范围带宽可调微波光子滤波器，其特征在于，所述硅基平台的材料是二氧化硅。

3.根据权利要求1所述的基于硅基微环的大范围带宽可调微波光子滤波器，其特征在于，所述微环的形状为圆环，其材料是硅。

4.根据权利要求1所述的基于硅基微环的大范围带宽可调微波光子滤波器，其特征在于，所述微环为上下载型微环。

5.根据权利要求1所述的基于硅基微环的大范围带宽可调微波光子滤波器，其特征在于，所述微环与第一波导、第二波导离微环最近处的距离为50nm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的基于硅基微环的大范围带宽可调微波光子滤波器，其特征在于，所述微环的半径为10μm。