[发明专利]一种低功耗的氢气检测方法及其装置和制备方法

说明书

本发明公开了一种低功耗的氢气检测方法及其装置和制备方法，该检测方法利用钯金属吸氢前和吸氢后的自旋轨道耦合强度不同，不同的自旋轨道耦合强度通过逆自旋霍尔效应表现出来，即通过钯金属与自旋极化层的异质结构，自旋极化层中的自旋信号会在的钯金属层中自发产生不一样的电流信号，实现氢气的检测。自旋极化层的自旋流在理论上具备无耗散的性质，而且钯金属层中的电流是自发形成的，不需要引入电源，因此减小了氢气检测的功耗，满足了传感小型化的目标。本发明既利用了钯金属层的自旋轨道耦合作用，又利用了钯金属层优异的氢敏特性，由于自旋无耗散的特点，使得这种结构的氢气检测方法能获得更小的功耗。

技术领域

本发明属于自旋电子器件技术领域，特别涉及一种低功耗的氢气检测方法及其装置和制备方法。

背景技术

随着自旋电子学的迅猛发展，自旋轨道耦合效应越来越受到人们的广泛关注，国际上关于相关材料中自旋轨道耦合效应引起的各种新奇物理现象的报道越来越多，如自旋(逆自旋)霍尔效应、自旋场效应晶体管、自旋量子计算等。

自旋轨道耦合作用提供了一种全电学(不需要外磁场或磁性材料)的方法控制自旋，随着理论研究的深入和实验技术的发展，基于自旋轨道耦合效应的各种电子器件层出不穷，也必将会带来更大的实际应用价值。

钯金属由于是一种重金属，有着很强的自旋轨道耦合作用，而且对氢气极为敏感而常作为氢气传感器的敏感媒介。

基于钯金属吸氢前和吸氢后的导电性性质不同的氢气检测技术，需要在具有氢敏特性的钯金属层施加电流，来检测电阻的变化。由于电流的焦耳热效应，增加了核心检测单元的功耗。

基于钯金属吸氢前和析氢后的折射率性质不同的氢气检测技术，需要引入额外的光学模块，来检测折射率的变化；由于光学模块的引入，使得检测系统很难小型化，也引入了额外的功耗。

因此，基于钯金属的现有的氢气检测方法需要进一步的改进。

发明内容

为了解决现有技术中的问题，本发明提供一种低功耗的氢气检测方法及其装置和制备方法，该装置既充分利用了钯金属层的自旋轨道耦合作用，又利用了钯金属层的优异的氢敏特性，由于自旋无耗散的特点，使得这种结构的氢气检测方法能获得更小的功耗。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种低功耗的氢气检测方法，钯金属层吸氢前和吸氢后的自旋轨道耦合强度不同，不同的自旋轨道耦合强度使得自旋极化层中的自旋信号会在钯金属层中自发产生不一样的电流信号，实现氢气的检测。

一种低功耗的氢气检测装置，包括自下至上依次设置的衬底、自旋极化层和钯金属层，所述钯金属层的两端分别连接设置于自旋极化层上的电极层，或包括自下至上依次设置的衬底、自旋极化层、阻隔层和钯金属层，所述钯金属层的两端分别连接设置于阻隔层上的电极层。

优选地，所述自旋极化层为拓扑绝缘体、狄拉克半金属、外尔半金属或重金属。

优选地，所述自旋极化层为铁磁金属、铁磁半金属或铁磁绝缘体。

优选地，所述钯金属层为钯的金属薄膜、金属纳米线或金属纳米线阵列。

优选地，所述阻隔层为石墨烯、氧化铝、氧化镁或氮化硼。

优选地，所述电极层为金、银、铜、铂、镍或铟层。

进一步的，所述自旋极化层中的自旋流通过在自旋极化层中施加电流、热梯度或微波产生。

进一步的，在吸收氢气之前，由于钯金属层的自旋轨道耦合作用，自旋极化层中的自旋流会在钯金属层中自发形成电流；在吸收氢气之后，钯金属层体积膨胀，自旋轨道耦合作用发生变化，使得自发形成的电流发生变化。这种结构既充分利用了钯金属层的自旋轨道耦合作用，又利用了钯金属层的优异的氢敏特性，由于自旋无耗散的特点，使得这种结构的氢气检测方法能获得更小的功耗。