[发明专利]用于引线焊接的焊接机上的自动悬置芯片优化工具及相关方法有效
| 申请号: | 201910986731.0 | 申请日: | 2016-11-03 |
| 公开(公告)号: | CN110695575B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
| 发明(设计)人: | A·沙阿;R·W·埃伦贝格;S·E·巴比奈茨;Z·艾哈迈德;W·秦 | 申请(专利权)人: | 库利克和索夫工业公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/607 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 李隆涛 |
| 地址: | 美国宾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 引线 焊接 自动 悬置 芯片 优化 工具 相关 方法 | ||
1.一种提供于引线焊接操作期间对多个焊接位置施加的z轴力曲线的方法,所述方法包括下列步骤:
(a)确定针对至少一个参考半导体器件的未受支承部分上的多个焊接位置中的每一个的z轴力曲线,步骤(a)包括测量多个焊接位置中的每一个处的z轴振动以确定用于所述多个焊接位置中的每一个的z轴力曲线;以及
(b)在主题半导体器件的随后焊接期间施加所述z轴力曲线,
其中,结合迭代过程测量所述z轴振动,使得在步骤(a)处确定的用于所述焊接位置中的每一个的z轴力曲线导致用于所述焊接位置中的每一个的可接受的z轴偏转曲线。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,步骤(a)还包括:测量在多个z轴力值条件下的所述多个焊接位置中的每一个处的z轴振动,以确定用于所述多个焊接位置中的每一个的z轴力曲线。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,使用引线焊接机的焊头组件的z轴编码器测量所述z轴振动。
4.根据权利要求1所述的方法,其中,包括在所述z轴偏转曲线中的最大偏转值低于预定阈值。
5.根据权利要求1所述的方法,其中,在步骤(a)中确定的z轴力曲线包括与引线焊接周期的一部分相对应的曲线,所述引线焊接周期的一部分包括在接头形成之后焊接工具的升离。
6.根据权利要求1所述的方法,其中,在步骤(a)中确定的z轴力曲线包括与引线焊接周期的一部分相对应的曲线,所述引线焊接周期的一部分包括无空气球与半导体器件的焊接位置的初始撞击。
7.一种确定有待在引线焊接操作期间对半导体器件的多个焊接位置每个施加的焊接参数的方法,所述方法包括如下步骤:
(a)测量在多个焊接力值条件下至少一个参考半导体器件的未受支承部分上的多个焊接位置处的z轴偏转值;以及
(b)利用在步骤(a)期间测量的z轴偏转值,确定用于所述焊接位置中的每个的焊接参数,其中,在步骤(b)中确定的焊接参数包括最佳阻尼增益、最大芯片建立时间、最大安全接触速度和最大安全焊接力中的至少一项。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,在步骤(b)中确定的焊接参数包括最佳阻尼增益。
9.根据权利要求7所述的方法,其中,在步骤(b)中确定的焊接参数包括最大芯片建立时间。
10.根据权利要求7所述的方法,其中,步骤(a)和步骤(b)利用反馈和迭代过程实施。
11.根据权利要求7所述的方法,其中,在步骤(b)中确定的焊接参数包括最佳阻尼增益、最大芯片建立时间、最大安全接触速度和最大安全焊接力中的每一项。
12.根据权利要求7所述的方法,在步骤(a)之前还包括如下步骤:设置对于所述半导体器件的最大z轴偏转值。
13.根据权利要求12所述的方法,其中,设置最大z轴偏转值的步骤包括用户设置最大z轴偏转值。
14.根据权利要求12所述的方法,其中,设置最大z轴偏转值的步骤包括自动确定所述最大z轴偏转值为不会引起半导体器件损伤的值。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





