[发明专利]一种干燥装置

说明书

本揭示提供一种干燥装置。所述干燥装置包括容纳腔以及位于所述容纳腔内的底盘、冷板以及抽气阀门。所述冷板设置于所述底盘上方且与所述底盘相对设置。本揭示通过在所述冷板上涂布亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，且所述底盘在所述冷板上的投影区域对应所述亲油性材料，避免冷凝气凝结后滴落污染基板；且互补边缘蒸发快的缺点，保证溶剂均匀蒸发。

技术领域

本揭示涉及显示制造技术领域，尤其涉及一种干燥装置。

背景技术

目前制造OLED面板主要有两种方式，一种是蒸镀技术，另一种是喷墨打印。最后经过干燥的工序去除溶剂之后，就可以完成OLED材料的印刷。

为了保证材料的膜层均一性，需要进行预干燥和后干燥的等多步干燥过程。考虑到膜层的铺展均匀性，往往采用真空式的冷凝干燥模式。然而在这种模式中，冷凝器上方会存在溶剂挥发凝结堆积的问题。墨滴积累后会滴落至基板表面，影响材料的器件性能，同时也会出现边缘干燥快和内部干燥慢的干燥速率不同的现象，影响材料的膜层均一性的问题。故，有必要改善这一缺陷。

发明内容

本揭示实施例提供一种干燥装置，用于解决现有技术的干燥装置，由于溶剂挥发后会在冷凝器上方汇聚形成液滴，液滴积累后会滴落至基板表面，导致基板被污染，影响器件性能，以及现有技术的干燥装置的干燥速率不同，边缘干燥快、内部干燥慢，影响材料的膜层均一性的技术问题。

本揭示实施例提供一种干燥装置，包括容纳腔、以及位于所述容纳腔内的底盘、冷板以及抽气阀门。所述底盘用于盛放基板。所述冷板设置于所述底盘上方且与所述底盘相对设置，所述冷板的面积大于所述底盘的面积。所述抽气阀门设置于所述底盘周围，用于排出所述容纳腔内部的气体。其中，所述冷板上涂有亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，且所述底盘在所述冷板上的投影区域对应所述亲油性材料。

进一步的，所述冷板为弧形，相对于所述底盘，所述弧形中央高、边缘低。

进一步的，所述弧形的弧度范围为0.01弧度至0.2弧度。

进一步的，所述亲油性材料为含有酯基、醚、酰胺基团的高分子材料，或者为聚硅氧烷。

进一步的，所述疏油性材料为含有羧基、磺酸基、磷酸基基团的高分子材料。

进一步的，所述底盘上设置有至少三个支撑销，用于支撑所述基板。

进一步的，所述支撑销等间距分布。

进一步的，所述底盘为四边形，所述抽气阀门的数量至少为4个，分别对应所述底盘的四边设置。

进一步的，所述抽气阀门等间距分布。

进一步的，所述抽气阀门的阀门孔直径范围为10毫米至100毫米。

有益效果:本揭示实施例提供的一种干燥装置，通过在冷板上涂布亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，一方面避免了冷凝气在冷板中间区域凝结后滴落污染基板；另一方面使气体在边缘分布，饱和蒸汽压变大，互补边缘蒸发快的缺点，保证溶剂均匀蒸发；通过在底盘的周围设置抽气阀门，即采用四周抽气的方式使溶剂从边缘流走，可以避免污染基板。

附图说明

为了更清楚地说明本揭示实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本揭示的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本揭示实施例提供的干燥装置侧视示意图。

图2是本揭示实施例提供的冷板下表面示意图。

图3是本揭示实施例提供的干燥装置的下腔体俯视示意图。