[发明专利]一种单晶碱制绒的片盒

说明书

本发明公开了一种单晶碱制绒的片盒，两个侧板间隔且相对设置，同时相互平行；硅片固定柱为两组，每组的数量为两根，均垂直侧板且间隔平行连接在两个侧板之间；每个硅片固定柱沿其长度方向上均匀间隔固定有多个第一齿牙，相邻两个第一齿牙限定出一卡槽，四个硅片固定柱上的卡槽一一对应限定出多个硅片安置区，每个硅片安置区中对应插设有硅片；压条为两个并均与硅片固定柱平行，压条一一对应位于两组硅片固定柱的上方且其两端分别对应与侧板的侧端部可拆卸连接；两个压条分别对应压设在位于硅片安置区内的硅片两边的倒角处。本发明公开了一种单晶碱制绒的片盒，不仅可以避免影响硅片主要部分的外观和性能，同时可以避免污染药液以及槽体。

技术领域

本发明涉及一种单晶碱制绒技术领域，更具体的说是涉及一种单晶碱制绒的片盒。

背景技术

单晶碱制绒主要利用碱在一定温度下同硅发生各相异性腐蚀，行业内单晶碱制绒一般通过使用200pcs/run槽式清洗机实现。

在单晶碱制绒的过程中，碱同硅反应过程中会产生大量的氢气，氢气会附着于硅片表面，即使有添加剂进行辅助消泡，硅片仍会在表面势能影响下离开片盒卡槽位，发生飘片或叠片现象。

因此，目前行业内单晶制绒过程中，均会使用与片盒相匹配的压杆/压条对硅片进行固定，防止发生飘片、叠片现象。而目前行业内常用的单晶制绒压杆主要有两种，一种为与片盒材质一致的带卡尺压杆，此类压杆可以完全避免飘片、叠片现象的发生，但此种带卡尺压杆需要压设在硅片中间位置，导致在硅片中央位置会产生卡尺印，严重影响产品质量外观；另外一种为无卡尺压杆，使用此类压杆绒面外观无异常，但叠片比例较高。

压杆材质根据实际清洗工艺进行确定，一般外层为PFA/PVDF/PP/PTFE等材质，并在其中间包裹金属棒或者碳纤维棒等做机械强度支撑，但压杆在长期使用过程中，容易造成压杆开裂，中间用作机械支撑的材质会污染药液、槽体，从而导致硅片在清洗过程中受到污染；另有一些压条材质同压杆，其内外层均为PFA/PVDF/PP/PTFE等材质，中间无强度支撑物，导致压条/压杆材质较软，使用过程中会由于变形而接触硅片，从而导致硅片绒面异常不均匀，且需频繁更换。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一，不仅可以避免影响硅片主要部分的外观和性能，同时可以避免污染药液以及槽体。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种单晶碱制绒的片盒，包括：

侧板，两个所述侧板间隔且相对设置，同时相互平行；

硅片固定柱，所述硅片固定柱为两组，每组的数量为两根，均垂直所述侧板且间隔平行连接在两个所述侧板之间；

每个所述硅片固定柱沿其长度方向上均匀间隔固定有多个第一齿牙，相邻两个所述第一齿牙限定出一卡槽，四个所述硅片固定柱上的所述卡槽一一对应限定出多个硅片安置区，每个所述硅片安置区中对应插设有硅片；

压条，所述压条为两个并均与所述硅片固定柱平行，所述压条一一对应位于两组所述硅片固定柱的上方且其两端分别对应与所述侧板的侧端部可拆卸连接；两个所述压条分别对应压设在位于所述硅片安置区内的硅片两边的倒角处，且每个所述压条上均匀固定有多个第二齿牙，所述第二齿牙与所述硅片两边的倒角处接触。

本发明通过四个所述硅片固定柱上的所述卡槽一一对应限定出多个硅片安置区，将硅片固定在多个硅片安置区内，利用两个压条分别压设在硅片两侧的倒角处，因此，本发明只会在硅片的倒角处留下齿牙印记，并不会影响硅片主要部分的外观以及性能，利于试验数据的准确性；同时，本发明通过硅片固定柱承载硅片，因此硅片固定柱会分担压条对硅片的作用力，所以使本发明的压条中不必设置金属棒等支撑物，因而不仅可以延长压条的使用寿命，而且能够避免压条断裂导致金属棒等支撑物污染药液及槽体的问题。