[发明专利]蒸镀掩模的拉伸方法带框架的蒸镀掩模的制造方法有机半导体元件的制造方法及拉伸装置

说明书

本发明提供能够以简单的方法将蒸镀掩模拉伸的蒸镀掩模的拉伸方法、使用该拉伸方法的带框架的蒸镀掩模的制造方法、以及能够以高精度制造有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法及用于所述方法的拉伸装置。在蒸镀掩模(100)的拉伸方法中，在蒸镀掩模(100)的一面上重叠拉伸辅助部件(50)，在蒸镀掩模(100)的一面和拉伸辅助部件(50)重合的部分的至少一部，将拉伸辅助部件固定在蒸镀掩模上，通过拉伸被固定在蒸镀掩模(100)上的拉伸辅助部件(50)对固定于该拉伸辅助部件(50)上的蒸镀掩模进行拉伸，由此解决上述课题。

本申请是申请日为2015年3月30日、申请号为201580010163.0、发明名称为“蒸镀掩模的拉伸方法、带框架的蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法及拉伸装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模的拉伸方法、带框架的蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法及拉伸装置。

背景技术

随着使用有机EL元件的产品的大型化或基板尺寸的大型化，对蒸镀掩模也不断增加大型化的需求。而且，用于制造由金属构成的蒸镀掩模的金属板也大型化。但是，在现有的金属加工技术中，难以在大型的金属板高精度地形成开口部，不能够应对开口部的高精细化。另外，在形成为仅由金属构成的蒸镀掩模时，随着大型化，其质量也增大，包含框架在内的总质量也增大，故而会给操作带来阻碍。

在这样的状况下，在专利文献l中提出有如下的蒸镀掩模，该蒸镀掩模将设有缝隙的金属掩模、和位于金属掩模的表面且将与要蒸镀制作的图案对应的开口部纵横地配置多列的树脂掩模层积而构成。根据在专利文献1中提出的蒸镀掩模，即使在大型化的情况下，也能够满足高精细化和轻量化二者，另外，能够进行高精细的蒸镀图案的形成。

专利文献1：(日本)专利第5288072号公报

发明内容

本发明的主要课题在于提供能够由简便的方法拉伸上述专利文献1所述的蒸镀掩模的蒸镀掩模的拉伸方法、使用该拉伸方法的带框架的蒸镀掩模的制造方法、以及使用有蒸镀掩模的有机半导体元件的制造方法、用于上述方法的拉伸装置。

一种蒸镀掩模的拉伸方法，其特征在于，包含：

拉伸辅助部件固定工序，在所述蒸镀掩模的仅一面上重叠拉伸辅助部件，且在所述蒸镀掩模的一面和所述拉伸辅助部件重合的部分的至少一部分，将所述拉伸辅助部件固定在所述蒸镀掩模上；

第一拉伸工序，通过对固定在所述蒸镀掩模上的所述拉伸辅助部件进行拉伸，对固定在该拉伸辅助部件上的蒸镀掩模进行拉伸。

一种带框架的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包括：

准备工序，准备蒸镀掩模；

拉伸辅助部件固定工序，在所述蒸镀掩模的仅一面上重叠拉伸辅助部件，且在所述蒸镀掩模的一面和所述拉伸辅助部件重合的部分的至少一部分，将所述拉伸辅助部件固定在所述蒸镀掩模上；

第一拉伸工序，通过对固定在所述蒸镀掩模上的所述拉伸辅助部件进行拉伸，对固定在该拉伸辅助部件上的蒸镀掩模进行拉伸；

框架固定工序，将在所述第一拉伸工序中被拉伸的状态的所述蒸镀掩模固定在形成有贯通孔的框架上。

一种有机半导体元件的制造方法，其特征在于，

包含使用在框架上固定有蒸镀掩模的带框架的蒸镀掩模而在蒸镀对象物形成蒸镀图案的工序，

所述带框架的蒸镀掩膜是通过包括拉伸辅助部件固定工序、第一拉伸工序、框架固定工序的工序而被制造的，

所述拉伸辅助部件固定工序在所述蒸镀掩模的仅一面上重叠拉伸辅助部件，且在所述蒸镀掩模的一面和所述拉伸辅助部件重合的部分的至少一部分，将所述拉伸辅助部件固定在所述蒸镀掩模上，