[发明专利]掩模修复设备和掩模修复方法

权利要求书

1.一种掩模修复设备，所述掩模修复设备包括：

平台；

立体成像单元，测量所述平台上的掩模的立体图像；

控制单元，将所述立体图像与所述掩模的正常图像进行比较以产生所述掩模的缺陷图像；以及

激光单元，在所述控制单元的控制下，将激光束照射到所述掩模的缺陷部分上，

其中，基于所述缺陷图像，所述控制单元控制所述激光单元，使得所述激光束在沿彼此交叉的第一方向和第二方向重复地移动的同时顺序地照射到所述缺陷部分的m个多层上，其中m是正整数。

2.根据权利要求1所述的掩模修复设备，其中，所述激光束的光斑的直径等于或大于0μm并且小于20μm。

3.根据权利要求1所述的掩模修复设备，其中，所述激光束的波长范围为500nm至550nm。

4.根据权利要求1所述的掩模修复设备，其中，

在所述掩模中限定的多个开口中的正常开口中的每个具有在从所述掩模的第一表面到所述掩模的第二表面的方向上增加的宽度，并且

所述第二表面背对所述第一表面并且在所述第一表面上方。

5.根据权利要求4所述的掩模修复设备，其中，

所述立体成像单元位于所述掩模上，以测量当在所述掩模的俯视平面图中观看时被暴露的所述掩模的暴露表面的立体图像，并且

当已测量的立体图像中的第一缺陷部分的边缘位于所述第一表面与所述第二表面之间时，所述控制单元将虚拟侧表面设置为从所述第一缺陷部分的所述边缘与所述掩模的底部垂直。

6.根据权利要求1所述的掩模修复设备，其中，

所述控制单元将所述立体图像划分为n个第一多级图像，并将所述n个第一多级图像与所述正常图像的n个第二多级图像进行比较，以产生m个多级缺陷图像，并且

所述m个多层分别对应于所述m个多级缺陷图像，其中，n是正整数并且m是等于或小于所述n的正整数。

7.根据权利要求6所述的掩模修复设备，其中，所述控制单元从所述n个第一多级图像去除与所述n个第二多级图像对应的部分，以产生所述m个多级缺陷图像。

8.根据权利要求6所述的掩模修复设备，其中，

所述控制单元基于所述m个多级缺陷图像来控制所述激光单元，使得所述激光束顺序地照射到所述m个多层上，并且

所述激光单元将所述激光束从所述m个多层的最顶层的第一层顺序地照射到所述m个多层。

9.根据权利要求1所述的掩模修复设备，其中，所述激光单元使所述激光束沿所述第一方向扫描，并且使所述激光束沿所述第二方向平移。

10.根据权利要求1所述的掩模修复设备，其中，所述激光单元使所述激光束沿所述第二方向扫描，并且使所述激光束沿所述第一方向平移。