[发明专利]一种用于加工微纳结构的光镊打印装置

权利要求书

1.一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，其特征在于，包括沿激光光路顺次设置的激光器、偏振片、半波片、扩束镜组、液晶空间光调制器SLM、第一凸透镜、第二凸透镜、分束镜、物镜、可移动载物台；所述物镜的一端连接有白光光源LED、另一端连接有一反射镜，所述反射镜顺次连接有第三凸透镜、电荷耦合元件CCD。

2.如权利要求1所述的一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元与所述激光器、电荷耦合元件CCD、可移动载物台、液晶空间光调制器SLM连接。

3.如权利要求1所述的一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，其特征在于，所述可移动载物台表面设置有用于放置待加工样品的玻片，所述玻片为镀有金膜的玻璃片。

4.如权利要求1所述的一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，其特征在于，所述玻片上设置有加工溶液层，所述加工溶液层由含阳离子表面活性剂十六烷基三甲基氯化铵与金纳米颗粒的溶液制得或者由含阳离子表面活性剂十六烷基三甲基氯化铵与介质颗粒的溶液制得。

5.如权利要求4所述的一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，所述介质颗粒为平均粒径尺寸范围20nm-1μm的聚苯乙烯微球；所述金纳米颗粒的平均粒径尺寸范围为20nm-1μm。

6.如权利要求1所述的一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，所述扩束镜组包括沿激光传输方向顺次设置的第一扩束镜和第二扩束镜。

7.如权利要求1所述的一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，所述第一凸透镜、第二凸透镜、液晶空间光调制器SLM的工作镜面及所述物镜的后焦面共同组成4f系统。