[发明专利]一种密封装置、容器及工件处理系统

权利要求书

1.一种密封装置，用于对设在容器(3)侧壁上沿第一方向延伸的密封通道(4)密封，其特征在于，所述密封装置包括：

至少一个密封机构，所述密封机构包括设在所述密封通道(4)内并将其分割为供待处理工件穿过的滑行通道(7)和第一区域(8)的第一驱动机构(2)；及间隔设在所述第一驱动机构(2)上且分别分布在所述滑行通道(7)和第一区域(8)内的至少两个第一密封部件(1)；

所述第一密封部件(1)受所述第一驱动机构(2)的驱动而沿第一方向做闭合环的循环移动，且至少两个所述第一密封部件(1)分别与所述滑行通道(7)和第一区域(8)所在的密封通道(4)内壁密封地滑动连接；

沿第一方向，任一所述滑行通道(7)的长度为L0_i，任一待处理工件的长度为L2_i，任意相邻两个所述第一密封部件(1)之间的路径长度为L1_i；所述L1_i与L0_i、L2_i之间满足：

L0_min≥L1_max，L1_min≥L2_max，其中所述L1_max为所有L1_i中的最大值，L2_max为所有L2_i中的最大值，L0_min为所有L0_i中的最小值，并且i为大于或等于1的自然数。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述第一密封部件(1)的一端铰接在所述第一驱动机构(2)上，另一端向外延伸；

所述第一密封部件(1)受外界的驱动力而转动，以使第一密封部件(1)可在滑行通道(7)内处于相对所述第一驱动机构(2)垂直的竖直状态和在所述第一区域(8)内处于相对于所述第一驱动机构(2)倾斜的倾斜状态之间切换；所述第一密封部件(1)的外壁与对应的所述密封通道(4)的内壁密封地滑动连接。

3.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，所述第一区域(8)在由所述滑行通道(7)朝向所述第一区域(8)方向上的第一间距小于所述第一密封部件(1)的长度；

所述密封机构还包括设在所述第一驱动机构(2)上并给所述第一密封部件(1)施加背向所述第一驱动机构(2)方向的偏压力的至少一个偏压件；

所述第一密封部件(1)受所述偏压力而处于所述竖直状态，及在所述第一区域(8)内受所述第一区域(8)所在密封通道(4)的内壁面的挤压力而处于所述倾斜状态。

4.根据权利要求3所述的密封装置，其特征在于，所述第一密封部件(1)的一端通过合页铰接在所述第一驱动机构(2)上；和/或

所述偏压件为扭簧；和/或

所述第一密封部件(1)呈板块状。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的密封装置，其特征在于，所述滑行通道(7)和所述第一区域(8)在水平方向上并列布置，并且所述滑行通道(7)位于所述第一区域(8)的上方；

所述第一密封部件(1)在滑行通道(7)内移动时，其竖向两外侧壁分别与所述滑行通道(7)所在的密封通道(4)的竖向两内侧壁之间密封滑动连接；及在所述第一区域(8)内移动时，所述第一密封部件(1)的底部表面与所述第一区域(8)所在的密封通道(4)的底部表面之间密封滑动连接。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的密封装置，其特征在于，所述滑行通道(7)和所述第一区域(8)在竖向上并列布置；

所述第一密封部件(1)在所述滑行通道(7)内移动时，所述第一密封部件(1)上与所述第一驱动机构(2)相对的竖向外侧端面，与其相对的所述滑行通道(7)所在的密封通道(4)的竖向一侧内壁之间密封地滑动连接；及在所述第一区域(8)内移动时，所述第一密封部件(1)的竖向外侧端面与所述第一区域(8)所在的密封通道(4)的另一侧竖向内壁之间密封滑动连接。