[发明专利]一种MEMS单环环形振动陀螺结构在审
| 申请号： | 201910966992.6 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110631569A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李宏生;刘学文;钦铮承 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振 弹性支撑梁 锚点 陀螺 抗环境干扰能力 等距排列 设计优化 外侧圆周 振动陀螺 外侧面 支撑梁 单环 子弹 | ||
1.一种MEMS单环环形振动陀螺结构，其特征在于：包括圆形谐振质量(1)、锚点(2)、弹性支撑梁(3)；若干个弹性支撑梁(3)围绕圆形谐振质量(1)、并等距排列在圆形谐振质量(1)的外侧圆周上，弹性支撑梁(3)的两端分别与圆形谐振质量(1)的外侧面固定；每个弹性支撑梁(3)上均设有一个锚点(2)。
2.根据权利要求1所述的MEMS单环环形振动陀螺结构，其特征在于：所述弹性支撑梁(3)包括左弹性支撑梁(31)和右弹性支撑梁(32)，左弹性支撑梁(31)与右弹性支撑梁(32)分别固定在锚点(2)的左右两侧、并与圆形谐振质量(1)相连。
3.根据权利要求1所述的MEMS单环环形振动陀螺结构，其特征在于：所述锚点(2)位于弹性支撑梁(3)的中间位置。
4.根据权利要求1所述的MEMS单环环形振动陀螺结构，其特征在于：所述若干个弹性支撑梁(3)的尺寸均一致，并且为完全独立的。
5.根据权利要求1所述的MEMS单环环形振动陀螺结构，其特征在于：所述弹性支撑梁(3)的数目是八个，完全相同的八个弹性支撑梁(3)均布在圆形谐振质量(1)的外侧。
6.根据权利要求1所述的MEMS单环环形振动陀螺结构，其特征在于：所述圆形谐振质量(1)、锚点(2)、弹性支撑梁(3)均采用单晶硅片加工而成。
7.根据权利要求1所述的MEMS单环环形振动陀螺结构，其特征在于：所述振动陀螺结构的工作模态处于第一阶模态，其平移模态以及其他模态的工作阶数均高于其工作模态。
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