[发明专利]一种喷墨打印头压电振动结构

权利要求书

1.一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：该压电振动结构包括振动薄板和压电元件；所述振动薄板由材料a（1）和材料b（2）组成，所述压电元件由顶电极（3）、压电陶瓷（4）、底电极（5）、基板（6）和铰支微区（7）组成；所述底电极（5）置于基板（6）上，压电陶瓷（4）置于底电极（5）上，所述铰支微区（7）镶嵌在压电陶瓷（4）中，所述振动薄板置于压电陶瓷（4）上，振动薄板上方为腔室（8）；所述顶电极（3）和底电极（5）同时通电时，压电陶瓷（4）发生变形，进而导致所述振动薄板变形，挤压腔室（8）内的墨水，进而使墨水从供墨通道喷出。

2.根据权利要求1所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述材料a（1）为聚合物材料；所述材料b（2）为金属材料；所述顶电极（3）采用的材料包括Pt、Au、Ti、Cr材料；所述压电陶瓷（4）采用的材料包括压电陶瓷和压电薄膜材料；所述底电极（5）采用的材料包括Pt、Au、Ti、Cr材料；所述基板（6）采用的材料包括SiO₂、Si₃N₄材料，所述铰支微区（7）采用的材料包括聚合物和介电材料。

3.根据权利要求1或2所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述材料a（1）的厚度范围为1-10um，所述材料b（2）的厚度范围为1-10um，所述顶电极（3）的厚度范围为0.2-0.6um，所述压电陶瓷（4）的厚度范围为1-50um，所述底电极（5）的厚度范围为0.2-0.6um，所述基板（6）的厚度范围为1-10um，所述铰支微区（7）的厚度范围为1-50um。

4.根据权利要求1或2所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述铰支微区（7）镶嵌在压电陶瓷（4）中，其宽度范围为1-100um，长度与振动薄板长度相等。

5.根据权利要求3所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述铰支微区（7）镶嵌在压电陶瓷（4）中，其宽度范围为1-100um，长度与振动薄板长度相等。

6.根据权利要求1、2或5所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述材料a（1）和材料b（2）的厚度比范围为0.1-10。

7.根据权利要求3所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述材料a（1）和材料b（2）的厚度比范围为0.1-10。

8.根据权利要求4所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述材料a（1）和材料b（2）的厚度比范围为0.1-10。

9.根据权利要求1、2、5、7或8所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述铰支微区（7）的厚度要和压电陶瓷（4）的厚度尽可能相等。

10.根据权利要求3所述的一种喷墨打印头压电振动结构，其特征是：所述铰支微区（7）的厚度要和压电陶瓷（4）的厚度尽可能相等。