[发明专利]一种采用铌酸锂材料制成的波长高速调谐的激光器

权利要求书

1.一种采用铌酸锂材料制成的波长高速调谐的激光器，其特征在于，包括：

铌酸锂薄膜芯片，所述的铌酸锂薄膜芯片包括硅衬底、设置硅衬底的SiO₂埋氧层以及设置在所述SiO₂埋氧层上的铌酸锂薄膜；

设置在所述铌酸锂薄膜芯片上的第一模斑转换器，所述的第一模斑转换器包括氮氧化硅输入波导、嵌入在所述氮氧化硅输入波导内的倏逝波波导、与所述倏逝波波导连接的过渡波导，所述的倏逝波波导和过渡波导均采用铌酸锂材料，所述的倏逝波波导采用渐变的结构，该倏逝波波导的截面为方形，所述的过渡波导的横截面由方形渐变成凸字形；

与所述第一模斑转换器连接的复合谐振腔，所述的复合谐振腔采用铌酸锂材料；

所述的复合谐振腔包括：

与所述模斑转换器连接的输入端波导；

与所述输入端波导耦合连接的第一环形谐振腔；

与所述第一环形谐振腔耦合连接的级联波导；

与所述级联波导连接的第二环形谐振腔；

与所述第二环形谐振腔连接的输出端波导；

与所述输出端波导连接的第二模斑转换器；

与所述第二模斑转换器连接的环路镜；

所述第一环形谐振腔内设置有圆形金属电极，所述第一环形谐振腔外环绕设置有一对金属电极；

所述第二环形谐振腔内设置有圆形金属电极，所述第二环形谐振腔外环绕设置有一对金属电极。

2.根据权利要求1所述的采用铌酸锂材料制成的波长高速调谐的激光器，其特征在于，所述的第一环形谐振腔由环形的波导构成，该波导采用铌酸锂材料制成，该波导的横截面为凸字形。

3.根据权利要求1所述的采用铌酸锂材料制成的波长高速调谐的激光器，其特征在于，所述的第二环形谐振腔由环形的波导构成，该波导采用铌酸锂材料制成，该波导的横截面为凸字形。

4.根据权利要求1所述的采用铌酸锂材料制成的波长高速调谐的激光器，其特征在于，所述的输入端波导、级联波导、输出端波导的横截面均为凸字形。