[发明专利]振动发电元件以及振动发电装置

说明书

本发明提供一种能够高精度地装配重锤的振动发电元件。振动发电元件(1)具备：具有多个梳齿电极(110)的固定电极部(111)；具有多个梳齿电极(120)的可动电极部(12)；弹性支撑可动电极部(12)的弹性支撑部(13)；固定于可动电极部(12)的重锤(10a、10b)；以及作为将重锤(10a、10b)固定于可动电极部(12)的定位机构的贯通孔(100、122)。

技术领域

本发明涉及振动发电元件以及振动发电装置。

背景技术

近年来，开发出一种利用MEMS技术的非常小型的振动发电元件。例如，在专利文献1中，通过使形成有梳齿电极的可动电极部相对于形成有梳齿电极的固定电极部振动来进行发电。在这样的振动发电元件中，为了即使在较小的环境振动中也能效率良好地发电，使可动电极部的质量更大是重要的，在专利文献1所记载的振动发电元件中，采用在可动部上装配另外形成的锤的构造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利6338071号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，由于振动发电元件非常小，因此存在如下问题：即使在锤从预先决定的固定位置稍微偏移的情况下，都会给振动发电元件的振动状态带来不良影响。

用于解决课题的方案

本发明的第一方案的振动发电元件的其特征在于，具备：具有多个梳齿电极的固定电极部；具有多个梳齿电极的可动电极部；弹性支撑上述可动电极部的支撑部；固定于上述可动电极部的锤；以及将上述锤定位于上述可动电极部的定位机构。

本发明的第二方案的振动发电装置的特征在于，具备：上述振动发电元件；以及真空密封上述振动发电元件的箱体。

发明的效果

根据本发明，能够高精度地装配锤。

附图说明

图1是表示封入于真空封装件的振动发电元件的图。

图2是表示振动发电元件的各部的结构的图。

图3是说明振动平面内中的重心位置的偏移的图。

图4是说明与振动平面垂直的方向的位置偏移的图。

图5是表示重锤向可动电极部的装配顺序的图。

图6是表示重锤向可动电极部的装配顺序中的、与图5连续的工序的图。

图7是表示振动发电元件的MEMS加工体的形成顺序的一例的图。

图8是表示MEMS加工体的形成顺序的与图7连续的工序的图。

图9是表示定位机构的变形例的图。

图10是表示卡合部形状的图。

图11是说明未除去定位销的结构的图。

图中：

1—振动发电元件，2—封装件，10a、10b—重锤(重物)，11—固定部，12—可动电极部，13—弹性支撑部，100、122、123a—贯通孔，101a—凸部，102—粘接剂，103—定位销，110、120—梳齿电极，111—固定电极部，114—连接部，114a—突起，G、G1、G2—重心位置。

具体实施方式