[发明专利]狭缝距离测量工具及其测量方法

说明书

本申请涉及一种狭缝距离测量工具及其测量方法，该测量工具包括：第一横杆和固定在第一横杆上的第一限位杆，第一限位杆和第一横杆形成直角，第一限位杆用于抵接第一侧壁；第一横杆平行的第二横杆和固定在第二横杆上的第二限位杆，第二限位杆和第二横杆形成直角，第二横杆可相对第一横杆平行移动，用于使第二限位杆抵接第二侧壁；距离传感组件，用于测量第二横杆相对于第一横杆的移动距离；显示组件，与距离传感组件通信连接，用于根据第一限位杆和第二限位杆在第二横杆移动方向上的初始距离以及移动距离计算并显示狭缝距离。通过第一限位杆和第二限位杆快速确定狭缝边界，并通过距离传感组件和显示组件自动测量狭缝距离，可提高测量速度和精度。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及一种狭缝距离测量工具及其测量方法。

背景技术

在组装半导体设备时，需要精准地控制各组件之间的相对位置关系，尤其是为防止摩擦而使两组件间隔设置时，需要精确地控制两组件之间的狭缝距离。例如，半导体工艺腔开设有传送通道，传送通道内安装有狭缝阀门，将狭缝阀门移动至传送通道的上方或下方，可打开传送通道，将晶圆传入工艺腔室或传出工艺腔室，将狭缝阀门移动至传送通道处，便可关闭传送通道。为避免狭缝阀门上下移动过程中与传送通道内壁相互摩擦而产生悬浮颗粒，污染晶圆，一般需要使狭缝阀门与传送通道左右内壁之间存在一定距离的狭缝，从而避免狭缝阀门上下移动过程中与传送通道内壁相互摩擦。在传统技术中，将设狭缝阀门安装于传送通道内后，通过肉眼观察狭缝阀门上下移动过程中是否与传送通道左右内壁产生摩擦，从而判断狭缝阀门与传送通道之间的狭缝距离是否合适，然而，这种方式并不精确。

发明内容

基于此，本申请提出一种狭缝距离测量工具及其测量方法，有利于精确测量狭缝距离。

一种狭缝距离测量工具，用于测量第一侧壁与第二侧壁之间的狭缝距离，包括：

基准部，包括第一横杆和固定在所述第一横杆上的第一限位杆，所述第一限位杆和所述第一横杆形成直角，所述第一限位杆用于抵接所述第一侧壁；

移动部，包括与所述第一横杆平行的第二横杆和固定在所述第二横杆上的第二限位杆，所述第二限位杆和所述第二横杆形成直角，所述第二横杆可相对所述第一横杆平行移动，用于使所述第二限位杆抵接所述第二侧壁；

距离传感组件，用于测量所述第二横杆相对于所述第一横杆的移动距离；

显示组件，与所述距离传感组件通信连接，用于根据第一限位杆和第二限位杆在所述第二横杆移动方向上的初始距离以及所述移动距离计算并显示所述狭缝距离。

上述狭缝距离测量工具，在测量之前，第一限位杆和第二限位杆之间的初始距离d1已知，在测量时，第一限位杆抵接第一侧壁并固定不动，移动第二横杆，使第二限位杆朝第二侧壁移动并抵接第二侧壁，通过距离传感组件测量第二横杆相对于第一横杆的移动距离d2，第二横杆相对于第一横杆的移动距离，实际也是第二限位杆相对于第一限位杆的移动距离。第二显示组件获取移动距离d2，根据初始间距d1和移动距离d2便能得到第一侧壁和第二侧壁之间的缝隙距离d3，具体为，d3＝d1+d2，同时显示缝隙距离d3。通过本申请的狭缝距离测量工具，可以精确地测量相对侧壁之间的狭缝距离，同时通过显示装置直接显示狭缝距离，避免人眼读数的误差，尤其对于空间受限的区域，人眼视线无法与测量标尺齐平，读数误差较大，本申请通过距离传感组件和显示组件，自动显示狭缝距离，使得测量结果更加精确。

在其中一个实施例中，所述第一横杆包括具有中空内腔的套合部，所述第二横杆嵌于所述套合部内并可沿所述套合部移动，所述第一限位杆和所述第二限位杆均位于所述套合部外的同侧。

在其中一个实施例中，所述第二横杆包括嵌入部和自所述嵌入部中心向一端延伸的连接部，所述嵌入部嵌于所述套合部内并可沿所述套合部移动，所述连接部与所述套合部内壁相间隔，所述第二限位杆固定于所述连接部上。

在其中一个实施例中，还包括：