[发明专利]质谱设备的流体过滤系统、质谱设备及再生使用方法

权利要求书

1.一种质谱设备的流体过滤系统，其特征在于，包括：

第一滤芯(1)，具有适于接收带杂质流体的正面和排出干燥洁净流体的背面；

第二滤芯(2)，同样具有适于接收带杂质流体的正面和排出洁净流体的背面；

第一通路，适于从第一滤芯(1)的正面通入带杂质流体，并向第二滤芯(2)背面通入洁净流体；

第二通路，适于从第二滤芯(2)的正面通入带杂质流体，并向第一滤芯(1)的背面通入洁净流体。

2.根据权利要求1所述的质谱设备的流体过滤系统，其特征在于，包括：

进气阀(3)，具有进气端和至少两个出气端，进气端适于与送气装置连通，其中一个出气端连接至第一滤芯(1)的正面，另一个出气端连接至第二滤芯(2)的正面；

所述进气阀(3)的两个出气端不同时打开；

反吹管路(13)，连通第一滤芯(1)的背面和第二滤芯(2)的背面。

3.根据权利要求2所述的质谱设备的流体过滤系统，其特征在于，所述反吹管路(13)上设置有限流阀(6)。

4.根据权利要求3所述的质谱设备的流体过滤系统，还包括：

泄污阀(4)，其具有至少两个进气端，所述两个进气端分别连通至第一滤芯(1)和第二滤芯(2)的正面；

排气阀(5)，其具有至少两个进气端和一个出气端，两个进气端分别连通至第一滤芯(1)的背面和第二滤芯(2)的背面，出气端适于与质谱设备连接。

5.根据权利要求4所述的质谱设备的流体过滤系统，其特征在于，所述进气阀(3)、泄污阀(4)和排气阀(5)均为三通阀。

6.根据权利要求4或5所述的质谱设备的流体过滤系统，其特征在于，还包括冷凝装置，所述冷凝装置设置在所述泄污阀(4)的进气端。

7.根据权利要求1所述的一种质谱设备的流体过滤系统，其特征在于，还包括加热装置，所述加热装置设于所述第一滤芯(1)和第二滤芯(2)外。

8.根据权利要求7所述的质谱设备的流体过滤系统，其特征在于，所述第一滤芯(1)和第二滤芯(2)的外表面裹设有保温结构。

9.一种质谱设备，包括进气系统、离子源装置、质量分析器、检测器和记录系统，其特征在于，所述进气系统的进气管路上设有上述权利要求1至8任一项所述的质谱设备的流体过滤系统。

10.一种如权利要求1至8任一项所述的质谱设备的流体过滤系统的再生使用方法，其特征在于，包括以下方法步骤：

(1)进气阀(3)、排气阀(5)均与第一滤芯(1)连通，第一滤芯(1)工作对载气除湿干燥；

(2)泄污阀(4)与第二滤芯(2)连通，第一滤芯(1)和第二滤芯(2)连通，第一滤芯(1)中部分载气通过反吹管路(13)进入第二滤芯(2)，对第二滤芯(2)加热，第二滤芯(2)吸收的水分高温蒸发后在泄污阀(4)处冷凝后排出，实现第一滤芯(1)工作，同时第二滤芯(2)再生；

(3)停止对第二滤芯(2)加热，断开第一滤芯(1)和第二滤芯(2)的连通，第二滤芯(2)再生完成，直至第二滤芯(2)自然冷却，第一滤芯(1)继续工作一段时间后进行切换，采用第二滤芯(2)工作，第一滤芯(1)再生；

(4)进气阀(3)、排气阀(5)与第二滤芯(2)连通，第二滤芯(2)工作对载气除湿干燥，第二滤芯(2)工作；

(5)第一滤芯(1)与泄污阀(4)连通，第二滤芯(2)与第一滤芯(1)连通，第二滤芯(2)中的载气部分通过反吹管路(13)进入到第一滤芯(1)，对第一滤芯(1)加热，实现第二滤芯(2)工作，同时第一滤芯(1)再生；

(6)依次循环实现第一滤芯(1)和第二滤芯(2)工作与再生交替。