[发明专利]压力传感器及其制备方法、应用和颅内压检测设备

权利要求书

1.一种颅内压检测设备，其特征在于，包括压力传感器，所述压力传感器包括：弹性聚合物层和填充在所述弹性聚合物层内部的液态金属，所述弹性聚合物层内部设有蛇形通道，所述液态金属填充在所述蛇形通道内，所述弹性聚合物层的厚度为200μm；

所述压力传感器的制备方法包括如下步骤：

（1）采用离子刻蚀的方式在PDMS基板上形成蛇形通道，蛇形通道的高度h为50μm，宽度为300μm，总长度L为200mm，得到PDMS模板；

（2）用胶布将PDMS模板密封，然后在蛇形通道的其中一端开一个小口，使PDMS模板成半密封状态，用吸入一定量液态金属镓铟合金的注射器，从开小口的一端将蛇形通道注满液态金属镓铟合金，将注满液态金属镓铟合金的PDMS模板放到冰箱里，在-80℃条件下静置20min，使液态金属镓铟合金发生凝固；

（3）待液态金属镓铟合金凝固后，取出PDMS模板，撕开密封胶布，剥离出固态金属镓铟合金；

（4）在硅片上旋涂一层100μm厚的聚酰亚胺薄膜，然后将硅片放入500℃烘箱烘烤1s以上使聚酰亚胺薄膜固化，将固态金属镓铟合金平放在固化的聚酰亚胺薄膜上，然后浇注前驱体覆盖固态金属镓铟合金，前驱体为质量比为10:1的聚酰亚胺的预聚物和固化剂，形成大约100μm厚的全部覆盖住固态金属镓铟合金的聚酰亚胺薄膜，得到层叠件；

（5）将层叠件转移至100℃烘箱烘烤2个小时以上使聚酰亚胺薄膜固化和密封，并且使固态金属镓铟合金熔化得到液态金属镓铟合金，从烘箱取出包裹液态金属镓铟合金的固化聚酰亚胺薄膜，裁剪去除四边多余部分，得到压力传感器。