[发明专利]清洗装置以及对象物的清洗和干燥方法

说明书

本发明提供一种将通用性高的单元型的清洗机和单元型的干燥机紧凑地设置的清洗机(10)，其具有：具有设置于清洗室(15)的壁面的搬入口(19)和设置于干燥室(17)的壁面的搬出口(23)的罩(11)；具有中间搬送口(21)并分隔成清洗室(15)和干燥室(17)的隔板(13)；对中间搬送口(21)进行开闭的中间门(22)；设置于干燥室(17)并具有把持对象物(1)的把持装置(43)的转台(41)；以及具有经由搬入口(19)把持对象物(1)的把持装置(27)，并且在把持着对象物(1)的状态下在清洗室(15)内进行清洗，从中间搬送口(21)将对象物(1)设置于转台(41)的移动装置(25)。

技术领域

本发明涉及一种清洗装置、对象物的清洗和干燥方法。

背景技术

提出了一种清洗机的方案，上述清洗机具有清洗区域、把持装置、以面对清洗区域的方式保持工件并使其移动的搬送台装置以及罩装置，并通过搬送台装置将工件移动到清洗区域并进行清洗(日本专利特许第6227496号)。提出了一种用于清洗机的搬送台装置(日本专利特许第6196588号(以下称为“专利文献1”))、日本专利特开2018-12079号公报(以下称为“专利文献2”)的方案。

发明内容

紧凑地设置通用性高的单元(cell)型的清洗机和单元型的干燥机。

本发明的第一侧面是清洗机，具有：

罩，所述罩在内部具有清洗室和干燥室，并且具有形成于所述清洗室的壁面的搬入口和形成于所述干燥室的壁面的搬出口；

隔板，所述隔板具有中间搬送口，并将所述罩内部的空间分隔成所述清洗室和所述干燥室；

中间门，所述中间门对所述中间搬送口进行开闭；

转台，所述转台配置在所述干燥室，并具有把持对象物的第一把持装置，并向经由所述中间搬送口接收所述对象物的放下(drop)位置、对所述对象物进行干燥的干燥位置以及经由所述搬出口将所述对象物送出的送出位置旋转；以及

移动装置，所述移动装置配置在所述清洗室，并具有经由所述搬入口把持所述对象物的第二把持装置，在把持着所述对象物的状态下在所述清洗室内清洗所述对象物，并经由所述中间搬送口将所述对象物搬送至所述第一把持装置。

本发明的第二侧面是对象物的清洗和干燥方法，包括：

移动装置将第一对象物从搬入口搬入，

使所述第一对象物与喷射清洗液的喷嘴对向地进行清洗，

在旋转板把持着第二对象物的状态下，转台旋转到干燥位置，

所述旋转板使所述第二对象物旋转，抖落附着在所述第二对象物上的清洗液，

所述转台旋转到送出位置，

所述旋转板经由搬出口将所述第二对象物送出，

所述转台旋转到放下位置，

所述移动装置经由中间搬送口将清洗后的所述第一对象物安装到所述旋转板。

清洗机同时处理两个对象物。第一对象物在运转时安装于第二把持装置，在运转中被清洗。第一对象物在下次的运转中作为第二对象物而被处理。在运转开始时，第二对象物安装于第一把持装置。第二对象物通过运转而被干燥、送出。即，搬入到清洗机的对象物在两次运转后，清洗和干燥结束，从清洗机被送出。第一对象物和第二对象物也可以是不同的种类。

飞溅罩(以下简称为“罩”)防止清洗液L漏出到外部。罩兼作安全罩。