[发明专利]多线切割统一面型的加工方法在审
| 申请号： | 201910946952.5 | 申请日： | 2019-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN110722691A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 余胜军;卢东阳 | 申请（专利权）人： | 江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;G01B21/20;G01B21/30;G01N21/88 |
| 代理公司： | 21200 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 223001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 面型 切割 线切割 线切割工艺 线切割加工 多线切割 能力控制 统一控制 研磨 马鞍型 马鞍状 晶棒 下片 粘棒 去除 加工 清洗 统一 检验 | ||
【权利要求书】：
1.一种多线切割统一面型的加工方法，其特征在于，步骤如下：
(1)晶棒检验：先用X-RAY晶体定向仪检测待加工晶棒的晶向端面，确定晶向端面的晶向在标准范围内；再使用激光笔检测晶棒是否有缺陷，并将缺陷部位画出；
(2)粘棒：将晶棒用AB胶粘合在多线切割机的工件板上；
(3)线切割工艺选择：使用线速600-1800m/min，张力使用30-50N，钻石线选用Φ0.25mm，切削液流量使用3000-7000KG/H，根据产品规格设定单片用线量和切割时间；
(4)切割：将粘好的晶棒按照步骤(3)确定的切割程序进行切割，切割过程中确保切割线弓不得超过7mm，且切割过程中罗拉线网上无跳线；
(5)下片：将切割后的晶片晶棒按照顺序插入卡塞中；
(6)清洗：将插好片的卡赛放入超声波清洗机清洗15min后，使用烘箱在65-85℃的温度烘烤15-20min将产品烘干。
2.根据权利要求1所述的多线切割统一面型的加工方法，其特征在于，所述的蓝宝石单片用线量和切割时间如下：4寸蓝宝石单片用线量在10-20m/pcs，6寸蓝宝石单片用线量在40m/pcs以上；切割时间4寸蓝宝石单片在5-11H/次，6寸蓝宝石单片在12-20H/次。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司，未经江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910946952.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种人造石英石切割机的降尘装置
- 下一篇：一种控制研磨产品BOW值加工的方法
