[发明专利]用于形成堆叠结构的方法和用于制造显示装置的方法

说明书

提供了用于形成堆叠结构的方法和用于制造显示装置的方法。根据该方法，使带有第一电荷的第一屏障薄片粘附至基板的表面。提供多个第一屏障薄片。在相邻的第一屏障薄片之间的缺口中提供第二屏障薄片，以形成带有第一电荷的第一屏障层。第二屏障薄片具有的尺寸小于第一屏障薄片的尺寸。在第一屏障层上形成第二屏障层。第二屏障层带有第二电荷，所述第二电荷具有与第一电荷的极性相反的极性，以使第二屏障层通过静电力与第一屏障层组合。

技术领域

示例性实施方式涉及用于制造显示装置的方法。更具体地，示例性实施方式涉及用于形成通过静电力在内层之间键合的堆叠结构的方法和用于制造显示装置的方法。

背景技术

最近，为了提高显示装置的便携性和可变性以及实施各种设计，正在对柔性显示装置进行研究和开发。

为了获得柔性显示装置，可使用具有柔性的聚合物基板。例如，在载体基板与聚合物基板组合之后，可在聚合物基板上形成显示元件部分。此后，载体基板可与聚合物基板分开，以形成柔性显示装置。

用于使载体基板与聚合物基板分开的已知方法中的一种可使用激光。但是，当使用激光使载体基板与聚合物基板分开时，显示元件部分可能受损，并且分开的均匀性可能劣化。

发明内容

为了解决上述问题，正在开发通过在载体基板和聚合物基板之间涂布屏障薄片而形成可机械分开的屏障粘附层的方法。

示例性实施方式涉及用于形成具有较少的缺陷并且通过静电力在内层之间键合的堆叠结构的方法。

示例性实施方式涉及用于制造具有提高的可靠性和效率的显示装置的方法。

根据示例性实施方式，提供了形成通过静电力在内层之间键合的堆叠结构的方法。根据该方法，使带有第一电荷的第一屏障薄片粘附至基板的表面。提供多个第一屏障薄片。在相邻的第一屏障薄片之间的缺口中提供第二屏障薄片，以形成带有第一电荷的第一屏障层。第二屏障薄片具有的尺寸小于第一屏障薄片的尺寸。在第一屏障层上形成第二屏障层。第二屏障层带有第二电荷，所述第二电荷具有与第一电荷的极性相反的极性，以使第二屏障层通过静电力与第一屏障层组合。

在示例性实施方式中，第一屏障薄片和第二屏障薄片可包括石墨烯、石墨烯氧化物或六方氮化硼中的至少一种。

在示例性实施方式中，在使第一屏障薄片粘附至基板的表面之前，基板的表面可带有第二电荷。

在示例性实施方式中，可使与第一屏障薄片组合的基板浸渍在包括第二屏障薄片的溶液中，以提供第二屏障薄片。

在示例性实施方式中，在基板浸渍在包括第二屏障薄片的溶液中时，可进行加热和减压工艺，以去除相邻的第一屏障薄片之间的缺口中的气体。

在示例性实施方式中，加热和减压工艺可在约40摄氏度(℃)至约80℃和约50毫巴(mbar)至约300mbar下进行。

在示例性实施方式中，第一屏障薄片可具有等于或大于约10微米(μm)并且等于或小于约50μm的尺寸。

在示例性实施方式中，第二屏障薄片可具有等于或大于约1μm并且小于约10μm的尺寸。

在示例性实施方式中，堆叠结构的厚度可为约2纳米(nm)至约20nm。

根据示例性实施方式，提供了用于制造显示装置的方法。根据该方法，使带有第一电荷的第一屏障薄片粘附至载体基板的表面。提供多个第一屏障薄片。在相邻的第一屏障薄片之间的缺口中提供第二屏障薄片，以形成带有第一电荷的第一屏障层。第二屏障薄片具有的尺寸小于第一屏障薄片的尺寸。在第一屏障层上形成第二屏障层。第二屏障层带有第二电荷，所述第二电荷具有与第一电荷的极性相反的极性，以使第二屏障层通过静电力与第一屏障层组合。在包括第一屏障层和第二屏障层的屏障粘附层上形成柔性基板。在显示元件部分上形成保护膜。使柔性基板与载体基板分开。