[发明专利]一种高密度压电打印头的集成制造方法

权利要求书

1.一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，键合振动板与喷嘴板：设计并完成打印头振动板与喷嘴板的制造，通过键合工艺完成振动板与喷嘴板的集成；

第二步，制备PZT压电薄膜图形化功能层：在衬底上制备下电极/PZT压电薄膜/上电极多层结构并完成其图形化，得到PZT压电薄膜图形化功能层；

第三步，释放并拾取PZT压电薄膜图形化功能层：在PZT压电薄膜图形化功能层上旋涂覆盖PDMS，加热固化；通过腐蚀衬底中的SiO₂层，完成PZT压电薄膜图形化功能层的释放；将PDMS从衬底表面揭下，拾取起PZT压电薄膜图形化功能层；

第四步，完成PZT压电薄膜图形化功能层的转移：在已完成键合的振动板上表面涂覆或旋涂有机粘结材料，将PDMS拾取的PZT压电薄膜图形化功能层完成对准进行黏合，完成PZT压电薄膜图形化功能层的转移，得到高密度压电打印头。

2.根据权利要求1所述的一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于：所述的高密度压电打印头由PZT压电薄膜图形化功能层、振动板、喷嘴板组成，在此结构上能够继续添加流道板、加热板或其他辅助板进行多次键合或粘结。

3.根据权利要求1所述的一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于：所述的高密度压电打印头为阵列化结构，包括阵列化的PZT压电薄膜图形化功能层、阵列化的腔室、阵列化的流道、阵列化的喷嘴以及公用或部分公用的入墨和出墨流道。

4.根据权利要求1所述的一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于：所述的振动板与喷嘴板形状为方形或圆形。

5.根据权利要求1所述的一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于：所述的第二步中制备PZT压电薄膜图形化功能层的衬底使用玻璃片或氧化硅片。

6.根据权利要求1所述的一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于：所述的PZT压电薄膜的制备通过溶胶-凝胶法、磁控溅射法、丝网印刷法或减薄法来完成。

7.根据权利要求1所述的一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于：所述的PZT压电薄膜的制备采用掺杂以及制备种晶层的方法来提其压电性能。

8.根据权利要求1所述的一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于：所述的第二步中对下电极/PZT压电薄膜/上电极的图形化，在制备PZT压电薄膜功能层过程中或PZT压电薄膜功能层制备完成后再进行。

9.根据权利要求1所述的一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于：所述的第四步中用于PZT压电薄膜图形化功能层和振动板黏合的有机粘结材料为环氧树脂胶。