[发明专利]一种可在线观测的真空检漏仪

权利要求书

1.一种可在线观测的真空检漏仪，其特征在于，该在线观测的真空检漏仪包括：

机体；

样品座部件，设于所述机体顶部，用于盛放透射电子显微镜样品杆；

抽真空装置；设于所述机体内侧，且与所述样品座部件连接，用于对所述子样品座部件进行抽真空；

检测机构，设于机体顶部，用于对样品座部件内侧的样品杆检测拍摄检测；及

同轴光调节器，设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。

2.根据权利要求1所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述样品座部件包括插管和插杆座组件；所述插管与所插杆座组件固定连接。

3.根据权利要求2所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述插杆座组件包括插座、第一透光元件、第二透光元件、第一端头盖和第二端头盖；所述第一透光元件与所述插座之间通过第一端头盖固定连接，所述第二透光元件与所述插座之间通过第二端头盖固定连接。

4.根据权利要求3所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述第二透光元件的一面上设有磨砂面，用于增强底灯的漫反射。

5.根据权利要求1所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述检测机构包括显微镜镜头元件、拍摄元件、调整机构和显示器；所述调整机构一端固定连接显示器，另一端连接显微镜镜头元件，用于精准观测样品特定区域，扩大样品的观测区域；所述显微镜镜头元件与拍摄元件同轴设置，用于拍摄呈像。

6.根据权利要求5所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述调整机构包括镜筒固定台、显微镜升降台、前后移动部件、左右移动部件以及螺丝调节把手；所述左右移动部件固定设于显微镜升降台上，所述前后移动部件与左右移动部件滑动连接；所述镜筒固定台设于前后移动部件上；所述螺丝调节把手设有两个，一个连接前后移动部件，另一个连接左右移动部件。

7.根据权利要求1所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述抽真空装置包括支撑架、分子泵、真空计和三通；所述分子泵设于支撑架上方；所述三通设于分子泵的进气端；所述真空计固定安装在三通上。

8.根据权利要求7所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述支撑架上设有减震机构，所述减震机构为环形减震垫。

9.根据权利要求5所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述显微镜镜头元件采用高低倍显微镜，其放大倍数范围为50-800倍；所述的高低倍显微镜同轴光可调节。