[发明专利]一种供气装置及光刻设备

权利要求书

1.一种供气装置，其特征在于，包括：

供气单元，所述供气单元的进气端连接气源，所述供气单元的出气端与用气对象的进气端连接；

排气单元，所述排气单元的进气端与所述用气对象的出气端连接，所述排气单元的出气端用于排气；

气压调节单元，所述气压调节单元与所述用气对象连接，用于调节所述用气对象内部的气压；

气压监测单元，所述气压监测单元连接在所述气压调节单元和所述用气对象之间的管路上，用于监测所述用气对象内部的气压，并将监测数据上传给控制单元；

控制单元，所述供气单元、排气单元、气压调节单元和气压监测单元分别与所述控制单元电连接；

所述气压调节单元包括缓冲腔和驱动电机，所述缓冲腔与所述用气对象连通；

所述缓冲腔内设置有活塞，所述活塞通过连杆与所述驱动电机连接，所述驱动电机用于通过所述连杆驱动所述活塞运动，在用气对象内部发生气压波动时，可以控制活塞运动，使得子腔的体积发生变化，以维持用气对象内部的气压稳定；

所述控制单元控制所述连杆与所述活塞可分离连接，在供气装置断电时，所述连杆与活塞脱离，所述活塞由于自身重力下降，为所述用气对象内部加压，维持所述用气对象内部的气压稳定；

所述供气单元还包括温控仪，所述温控仪连接在所述用气对象的进气端的管道上，用于控制输入所述用气对象的气体的温度。

2.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述气压调节单元还包括第一安全阀，所述第一安全阀连接在所述气压调节单元和所述用气对象之间的管路上。

3.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述气压监测单元包括压差传感器、绝压传感器和压差开关；

所述压差传感器、绝压传感器和压差开关分别连接在所述气压调节单元和所述用气对象之间的管路上，所述压差传感器、绝压传感器和压差开关分别与所述控制单元连接；

所述压差传感器用于检测所述用气对象内相对于外部环境的气压差；

所述绝压传感器用于检测所述用气对象内的绝对气压；

所述压差开关用于在所述用气对象内相对于外部环境的气压差大于预设值时，向所述控制单元发送控制信号，以使所述控制单元控制所述供气单元停止对所述用气对象供气。

4.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述供气单元包括电磁阀、第一气控隔膜阀、第二气控隔膜阀和单向排气阀；

所述电磁阀的进气端用于连接气源，所述电磁阀的出气端分别与所述第一气控隔膜阀和第二气控隔膜阀的控制端连接，所述电磁阀的控制端与所述控制单元连接；

所述第一气控隔膜阀的进气端用于连接气源，所述第一气控隔膜阀的出气端与所述用气对象连接；

所述第二气控隔膜阀的进气端与所述用气对象连接，所述第二气控隔膜阀的出气端与所述单向排气阀连接；

其中，当所述电磁阀导通时，所述第一气控隔膜阀导通，所述第二气控隔膜阀关闭；

当所述电磁阀关闭时，所述第一气控隔膜阀关闭，所述第二气控隔膜阀导通。

5.根据权利要求4所述的供气装置，其特征在于，所述供气单元还包括调压阀、第二安全阀和第一毛细管；

所述调压阀的进气端与所述第一气控隔膜阀的出气端连接，所述调压阀的出气端与所述第一毛细管的进气端连接，所述调压阀用于调节所述供气单元输出的气体的气压；

所述第一毛细管的出气端与所述用气对象连接，所述第一毛细管用于输出稳定气压的气体；

所述第二安全阀连接在所述调压阀的出气端的管道上。

6.根据权利要求5所述的供气装置，其特征在于，所述供气单元还包括过滤器和纯度检测仪；

所述过滤器的进气端与所述第一毛细管的出气端连接，所述过滤器的出气端与所述纯度检测仪的进气端连接；

所述纯度检测仪的出气端与所述用气对象连接，所述纯度检测仪的控制端与所述控制单元连接，用于在检测到管道内气体的杂质浓度大于浓度阈值时，向所述控制单元发送控制信号，以使所述控制单元控制所述电磁阀关闭。