[发明专利]压电薄膜灵敏度测试方法及设备

权利要求书

1.一种压电薄膜灵敏度测试方法，应用于压电薄膜测试设备，其特征在于，所述压电薄膜测试设备包括测试台，所述测试台具有承载面，所述承载面用于承载叠设的被测压电薄膜和基准压电薄膜；

滚轮，位于所述承载面上，并位于所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜上方且抵接于其中一压电薄膜；

驱动装置，与所述滚轮连接，用于驱动所述滚轮在所述承载面上移动以使所述滚轮滚压于所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜；以及

测试装置，包括控制器，所述控制器用于与所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜连接；所述压电薄膜灵敏度测试方法包括：

所述控制器控制所述驱动装置驱动所述滚轮滚压于叠设的所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜；

所述控制器获取所述被测压电薄膜输出的第一电信号波形以及所述基准压电薄膜输出的第二电信号波形；

所述控制器根据所述第一电信号波形和所述第二电信号波形，对所述被测压电薄膜进行灵敏度测试。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

所述控制器获取所述基准压电薄膜在若干预设位置的基准灵敏度值；

所述控制器根据所述第一电信号波形和所述第二电信号波形，对所述被测压电薄膜进行灵敏度测试，具体包括：

所述控制器从所述第一电信号波形获取所述被测压电薄膜在若干相同所述预设位置的第一电信号值，并从所述第二电信号波形获取所述基准压电薄膜在若干相同所述预设位置的第二电信号值；

所述控制器根据各所述预设位置对应的所述基准灵敏度值、所述第一电信号值以及所述第二电信号值，对所述被测压电薄膜进行灵敏度测试。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述控制器根据各所述预设位置对应的所述基准灵敏度值、所述第一电信号值以及所述第二电信号值，对所述被测压电薄膜进行灵敏度测试，具体包括：

所述控制器根据所述第一电信号值和所述第二电信号值，计算检验值；

所述控制器根据所述基准灵敏度值，确定所述基准灵敏度值所处的灵敏度范围；

所述控制器根据预设的灵敏度范围与检验值范围的对应关系，确定所述基准灵敏度值所处的灵敏度范围对应的检验值范围；

若所述检验值在所述检验值范围内，则所述控制器确定所述检验值对应的所述预设位置满足测试合格条件；

若所述被测压电薄膜的所有所述预设位置均满足所述测试合格条件，则所述控制器确定所述被测压电薄膜灵敏度测试合格。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述检验值为所述第一电压值与所述第二电压值之比。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，相邻两个所述预设位置之间的间隔距离相同，所述方法还包括：

所述控制器控制所述驱动装置驱动所述滚轮水平匀速移动。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述驱动装置驱动所述滚轮滚压于一待选压电薄膜上时，所述控制器获取所述待选压电薄膜在若干测试位置的测试灵敏度值；

若至多存在一个所述测试灵敏度值在第一预设范围、且其余所述测试灵敏度值均在第二预设范围，或者全部所述测试灵敏度值均在第二预设范围，则所述控制器将所述待选压电薄膜确定为所述基准压电薄膜；

若存在不止一个所述测试灵敏度值在所述第一预设范围，或者，存在所述测试灵敏度值小于所述第一预设范围，则所述控制器将所述待选压电薄膜确定不为所述基准压电薄膜。

7.一种压电薄膜测试设备，其特征在于，所述设备包括：

测试台，具有承载面，所述承载面用于承载叠设的被测压电薄膜和基准压电薄膜；

滚轮，位于所述承载面上，并位于所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜上方且抵接于其中一压电薄膜；

驱动装置，与所述滚轮连接，用于驱动所述滚轮在所述承载面上移动以使所述滚轮滚压于所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜；以及

测试装置，包括控制器，所述控制器用于与所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜电连接，并用于执行所述如权利要求1-6中任一项所述的方法。