[发明专利]量子级联激光器

权利要求书

1.一种量子级联激光器，包括：

激光器结构，所述激光器结构具有包括第一端面的第一区域、包括第二端面的第二区域、外延表面以及衬底表面；

绝缘膜，所述绝缘膜被布置在所述激光器结构的所述第二端面和所述外延表面上；

电极，所述电极被布置在所述激光器结构的所述外延表面和所述绝缘膜上，并且通过所述绝缘膜中的开口与所述外延表面接触；以及

金属膜，所述金属膜被布置在所述激光器结构的所述第二端面和所述外延表面的上方，并且与所述电极和所述衬底表面分离，

其中所述绝缘膜被布置在所述金属膜和所述第二端面之间以及所述金属膜和所述外延表面之间，

所述外延表面与所述衬底表面相反，

所述第一区域和所述第二区域在第一轴的方向上排列，

所述第二区域包括半导体台面，所述半导体台面具有在所述第一轴的方向上延伸的芯层，

所述第二端面位于所述第一区域和所述第二区域之间的边界处，

所述第二端面终止所述半导体台面，

所述第一区域包括在所述第一轴的方向上延伸的连接表面，并且

所述连接表面将所述第二端面连接到所述第一端面。

2.根据权利要求1所述的量子级联激光器，其中

所述激光器结构包括嵌入体和衬底，

所述第二端面在所述衬底内具有其底部，

所述衬底具有被布置在其上的所述嵌入体，并且

所述嵌入体在所述第二区域中具有电流阻挡部，所述电流阻挡部具有嵌入其中的所述半导体台面。

3.根据权利要求1或2所述的量子级联激光器，其中

所述连接表面从所述激光器结构的一个侧表面延伸到另一个侧表面，并且

所述绝缘膜和所述金属膜被布置在所述连接表面的上方。

4.根据权利要求2所述的量子级联激光器，其中

所述激光器结构在所述第一区域中具有第一延伸部和第二延伸部，所述第一延伸部和第二延伸部从所述嵌入体的所述电流阻挡部延伸，并且

所述金属膜被布置在所述第一延伸部和所述第二延伸部的上方。

5.根据权利要求4所述的量子级联激光器，其中

所述第一延伸部和所述第二延伸部分别具有在所述第一轴的方向上延伸的第一侧表面和第二侧表面，

所述第一侧表面和所述第二侧表面连接到所述第一端面，

所述连接表面将所述第一侧表面和所述第二侧表面彼此连接，

所述第二端面将所述第一侧表面和所述第二侧表面彼此连接，并且

所述绝缘膜和所述金属膜被布置在所述连接表面、所述第一侧表面和所述第二侧表面的上方。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的量子级联激光器，其中

所述绝缘膜被布置在所述连接表面上，

所述绝缘膜与所述第一端面的上端分离，

所述金属膜被布置在所述连接表面的上方，

所述金属膜与所述第一端面的所述上端分离，并且

所述第一端面将所述衬底表面连接到所述连接表面。

7.根据权利要求1至5中的任意一项所述的量子级联激光器，其中

所述绝缘膜被布置在所述连接表面上，

所述绝缘膜到达所述第一端面的上端，

所述金属膜被布置在所述连接表面的上方，并且

所述第一端面将所述衬底表面连接到所述连接表面。

8.根据权利要求7所述的量子级联激光器，其中所述金属膜没有到达所述第一端面的所述上端。