[发明专利]基板夹持装置及蒸镀设备

权利要求书

1.一种基板夹持装置，其特征在于，包括：

夹持板，所述夹持板包括第一表面及所述第一表面的四个侧边；

及，多个支撑单元，所述夹持板的每一所述侧边上对应设置一个所述支撑单元，每一所述支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆，所述支撑杆与所述夹持板之间在垂直于所述第一表面的方向上保持预定距离；

其中，在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧，和/或所述第一表面上对应各所述支撑杆的位置设置凹凸结构，所述凹凸结构用于使得所述支撑杆与所述夹持板之间形成支撑间隙，

其中所述支撑间隙在第一方向上的宽度与所述凹凸结构在所述第一方向上的高度之和等于所述预定距离。

2.根据权利要求1所述的基板夹持装置，其特征在于，

每一所述支撑单元包括位于该支撑单元所对应的侧边的两端位置上的两个端部支撑杆、及位于两个所述端部支撑杆之间的多个中部支撑杆，

每一所述支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均小于或者等于所述基板的厚度。

3.根据权利要求2所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述支撑单元中各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均相同，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度均相同；

或者，所述支撑单元中各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度由该支撑单元对应的侧边的中心向两端逐渐变化，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度由该支撑单元对应的侧边的中心向两端呈阶梯状变化。

4.根据权利要求3所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述夹持板的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；

所述长边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均相同，且均大于或等于所述基板的厚度，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度均相同；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，均小于所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，并从该短边的中心向两端逐渐增大；多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，并从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，均大于所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，并从该短边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

5.根据权利要求4所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述基板的厚度为0.1～0.5mm；

所述长边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度大0.05～0.15mm；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递增，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，并从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递减，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。