[发明专利]一种强织构硒化锡宏观热电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种强织构硒化锡宏观热电薄膜的制备方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：

1)以硒化锡粉末为原料，以氟晶云母片为衬底；

2)将所述硒化锡粉末置于管式炉石英管中心，所述衬底沿气流方向置于硒化锡粉末的下游位置；将反应体系密封后，反复抽真空和通氩气以除去体系中的氧气；

3)通入氩气作为保护气和载气，利用真空泵保持反应体系的气压为30-50Pa，在温度为400-500℃的条件下进行化学气相沉积反应，反应时间为15-60min，即制备得到所述强织构硒化锡热电薄膜。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤1)中所述衬底放置在距离硒化锡粉末下游的10～16cm的位置。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤3)中，在化学气相沉积的过程中，通入的氩气速率为70-150mL/min。

4.如权利要求1、2或3所述的制备方法，其特征在于，步骤2)中所述反复抽真空和通氩气的方法为：将硒化锡粉末和衬底放置完成后，密封石英管，打开真空泵，抽真空至气压为1-10Pa，随后关闭出气阀，之后以300-2000mL/min的速度通入氩气，当石英管恢复常压后开始抽真空，反复进行抽气/通气三次。