[发明专利]子掩膜版以及掩膜版有效
| 申请号： | 201910932119.5 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110484864B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈腾;陈奎;孟维欣;李杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 解婷婷;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 子掩膜版 以及 掩膜版 | ||
1.一种子掩膜版，其特征在于，包括衬底以及设置在所述衬底上的掩膜图案，所述掩膜图案包括至少一个与所述子掩膜版的拉伸方向朝向不同的第一角部，以及至少一个与所述子掩膜版的拉伸方向朝向相同的第二角部，所述第一角部为圆角，所述第二角部为倒角；所述掩膜图案为六边形；所述掩膜图案包括相对设置并与所述子掩膜版的拉伸方向平行的第一边和第二边，所述第一边与所述第二边之间的距离为L，所述第一角部的半径为R，所述L与所述R满足关系式：R/L＝1/8～1/4。
2.根据权利要求1所述的子掩膜版，其征在于，所述掩膜图案包括至少两个所述第一角部，所述掩膜图案为轴对称图形，所述掩膜图案的对称轴与所述子掩膜版拉伸方向平行，所述第一角部对称设置于所述对称轴的两侧。
3.根据权利要求1所述的子掩膜版，其特征在于，所述掩膜图案为轴对称六边形，包括两个分别位于所述掩膜图案顶端和底端的所述第二角部以及四个对称设置于所述掩膜图案对称轴两侧的所述第一角部。
4.根据权利要求3所述的子掩膜版，其特征在于，所述第一角部和所述第二角部均为120°。
5.根据权利要求1所述的子掩膜版，其特征在于，所述衬底包括图案区以及围绕所述图案区四周的封闭区，所述图案区中设置有至少一个所述掩膜图案。
6.根据权利要求5所述的子掩膜版，其特征在于，所述衬底还包括位于所述图案区相对两侧的夹持区。
7.一种掩膜版，其特征在于，包括如权利要求1-6任一所述的子掩膜版。
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