[发明专利]一种通用型纳米级流体的生物分子太赫兹传感芯片的制备方法及其应用

权利要求书

1.一种通用型纳米级流体的生物分子太赫兹传感芯片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)使用硅片制作成SRRs超材料备用；

(2)通过硅刻模具，制作PDMS流道；

(3)将步骤(1)中的SRRs超材料和步骤(2)中制备的PDMS流道键合制得太赫兹传感芯片。

2.根据权利要求1所述的一种通用型纳米级流体的生物分子太赫兹传感芯片的制备方法，其特征在于，步骤(1)中制作SRRs超材料包括以下步骤：a.衬底基片清洗：将裁剪好的硅片放入超声波清洗仪中清洗，取出后先用无水乙醇清洗再用去离子水漂洗干净，再用高压氮气把硅片表面吹干，再放入烘干箱；b.镀膜：在槽道表面镀厚度为120nm的金膜；c.涂胶：光刻胶(SU-8)均匀旋涂在金膜的表面，放入烘干箱烘干，在暗室中自然冷却；d.曝光：使用曝光机在均匀涂满光刻胶的表面进行周期性结构单元曝光；单元结构为单开口谐振环，长、宽为26μm，线宽6μm，开口间隙2μm；e.显影：选取显影液行显影；f.后烘：对显影后的基片进行烘焙，去除残留水分和显影液，提高光刻胶与衬底基片之间粘附力；g.湿法刻蚀：采用湿法刻蚀刻蚀完成后，未被光刻胶保护的金膜被腐蚀掉，然后用去离子水冲洗，直至表面刻蚀混合液被清洗干净。

3.根据权利要求1所述的一种通用型纳米级流体的生物分子太赫兹传感芯片的制备方法，其特征在于，步骤(2)中PDMS流道包括以下步骤:a.制作阳模：利用光刻和化学腐蚀的办法，在硅板上做出阳模；b.浇筑：以PDMS预聚物浇筑阳模；c.固化：放置数小时等待PDMS固化；d.拔膜：将固化的PDMS与阳模剥离，得到PDMS流道模型；e.打孔：孔直径为1mm。

4.根据权利要求3所述的一种通用型纳米级流体的生物分子太赫兹传感芯片的制备方法，其特征在于，步骤(2)中阳模尺寸为：外长15mm，内长7.2mm，外宽15mm，内宽7.2mm，高220nm。

5.根据权利要求1所述的一种通用型纳米级流体的生物分子太赫兹传感芯片的制备方法，步骤(3)中键合包括以下步骤：a.氧等离子体对PDMS和硅表面进行改性键合；b.后烘，增加键合的稳定性与牢固性。

6.一种通用型纳米级流体的生物分子太赫兹传感芯片的应用，其特征在于，能用于区分纯水、乙醇、甲醇、异丙醇，并实现对不同浓度的氧化低密度脂蛋白溶液的检测。