[发明专利]一种阵列基板、显示面板和阵列基板的制作方法

说明书

本发明公开了一种阵列基板、显示面板和阵列基板的制作方法，所述阵列基板包括显示区和非显示区，所述非显示区包括栅极驱动电路，所述显示区包括第一薄膜晶体管，所述栅极驱动电路包括第二薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管的栅绝缘层的厚度大于所述第二薄膜晶体管的栅绝缘层的厚度。本发明提供的实施例通过在显示区和非显示区的薄膜晶体管中设置不同厚度的栅绝缘层，能够有效增强栅极驱动电路输出管的驱动能力、减小显示区的寄生电容，减小阵列基板的边框尺寸，提升显示效果，具有广泛的应用前景。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种阵列基板、显示面板和阵列基板的制作方法。

背景技术

在显示领域，为了不断改善显示画面，提高用户体验，窄边框显示成了研究的热门。栅极驱动电路设置在显示面板的两侧，用于减少面板不良和降低成本，然而栅极驱动电路的体积成为制约显示面板窄边框化的重要影响因素。

发明内容

为了解决上述问题至少之一，本发明第一方面提供一种阵列基板，包括显示区和非显示区，所述非显示区包括栅极驱动电路，其特征在于，所述显示区包括第一薄膜晶体管，所述栅极驱动电路包括第二薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管的栅绝缘层的厚度大于所述第二薄膜晶体管的栅绝缘层的厚度。

进一步的，所述第一薄膜晶体管为顶栅结构和底栅结构中的一个，所述第二薄膜晶体管为顶栅结构和底栅结构中的一个。

进一步的，在所述第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管均为顶栅结构或底栅结构的情况下，

所述第一薄膜晶体管包括第一栅绝缘层和在所述第一栅绝缘层上的第二栅绝缘层，所述第二薄膜晶体管的栅绝缘层与所述第一栅绝缘层或第二栅绝缘层同层设置。

进一步的，所述第一栅绝缘层和第二栅绝缘层的材料相同或不同。

进一步的，

包括：

衬底；

形成在所述衬底上的遮光层；

覆盖所述遮光层和衬底的缓冲层；

形成在所述缓冲层上的第一有源层和第二有源层；

形成在所述第一有源层上的第一栅绝缘层材料；

形成在所述第二有源层和所述第一栅绝缘层材料上的第二栅绝缘层材料，其中形成在所述第一有源层上的第一栅绝缘层材料和第二栅绝缘层材料分别构成所述第一栅绝缘层和所述第二栅绝缘层，形成在所述第二有源层上的第二栅绝缘层材料构成所述第二薄膜晶体管的栅绝缘层；

形成所述第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管的栅极、源极和漏极；

或者

衬底；

形成在所述衬底上的遮光层；

覆盖所述遮光层和衬底的缓冲层；

形成在所述缓冲层上的第一薄膜晶体管的第一栅极和第二薄膜晶体管的第二栅极；

形成在所述第一栅极上的第一栅绝缘层材料；

形成在所述第二栅极和所述第一栅绝缘层材料上的第二栅绝缘层材料，其中形成在所述第一栅极上的第一栅绝缘层材料和第二栅绝缘层材料分别构成所述第一栅绝缘层和所述第二栅绝缘层，形成在所述第二栅极上的第二栅绝缘层材料构成所述第二薄膜晶体管的栅绝缘层；

形成所述第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管的有源层、源极和漏极。

本发明第二方面提供一种显示面板，包括第一方面所述的阵列基板。

本发明第三方面提供一种阵列基板的制作方法，包括：