[发明专利]一种物料管理方法、装置及系统

说明书

本发明公开了一种物料管理、装置及系统，其中，所述物料管理方法，应用于物料管理装置，所述物料管理方法包括：获取空料盒的标签信息，其中，所述标签信息为利用射频扫描装置扫描设置于所述空料盒的标签所获取的信息；接收将要放置到所述空料盒所对应物料的物料信息，其中，所述物料信息为用户通过操控输入设备所填写的信息；将所述物料信息和所述标签信息绑定；获取料盒入库信息，其中，所述料盒入库信息为装有物料的料盒放置到物料架对应的物料放置位时，所述物料架生成的信息；根据所述料盒入库信息控制显示器显示所述物料放置位的状态图标。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种物料管理方法、装置及系统。

背景技术

随着集成电路(IC)的集成度日益增加，半导体制造的准确度就显得格外重要，一旦在半导体制造过程中发生细微错误，可能就会导致半导体器件损毁或报废，因而造成大量生产资料的浪费，进而增加半导体器件的制造成本。

在半导体器件制造过程中，需要用到系列的半导体生产设备，每种生产设备对应对半导体器件对某一种物料进行若干工艺步骤的加工，如，某一种物料为待切割的晶圆。在生产设备完成对物料完成加工后，生产设备会发出更换物料的警报。而此时，操作人员会确认哪个生产设备的哪一种物料需要更换，并根据待更换物料的名称，去物料柜领取物料后进行更换。

由于物料管理的过程为人工操作，故使用错误放置物料的情况时有发生，而且由于没有监控系统监控，当操作人员放置错误的物料时，相关操作人员也无法及时发现。因此，一旦发生物料放置错误的情况，会给制造厂商带来严重的经济损失。

鉴于此，有必要设计一种物料管理方法以解决上述技术问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种物料管理方法、装置及系统。

为实现上述目的，提供了一种物料管理方法，应用于物料管理装置，所述物料管理方法包括：

获取空料盒的标签信息，其中，所述标签信息为利用射频扫描装置扫描设置于所述空料盒的标签所获取的信息；

接收将要放置到所述空料盒所对应物料的物料信息，其中，所述物料信息为用户通过操控输入设备所填写的信息；

将所述物料信息和所述标签信息绑定；

获取料盒入库信息，其中，所述料盒入库信息为装有物料的料盒放置到物料架对应的物料放置位时，所述物料架生成的信息；

根据所述料盒入库信息控制显示器显示所述物料放置位的状态图标。

优选地，所述将所述物料信息和所述标签信息绑定，包括：

获取绑定指令；

根据所述绑定指令将所述物料信息和所述标签信息绑定。

优选地，所述物料信息包括：物料名称、物料批次号、物料数量、物料类型中的至少一者。

优选地，所述获取料盒入库信息，包括：

获取请求入库指令；

根据所述请求入库指令在所述物料架上分配物料放置位；

当料盒放置到物料架对应的所述物料放置位时，所述物料架感应所述料盒入架并生成所述料盒入库信息。

优选地，所述根据所述料盒入库信息控制显示器显示所述物料放置位的状态图标，包括：

根据所述入库信息生成对应所述入库信息的显示控制指令；

根据所述显示控制指令控制显示器显示所述物料放置位的状态图标。