[发明专利]一种使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法在审
| 申请号： | 201910925454.2 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110498615A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 刘超前;伦婷婷;王楠;翟晓娜;宋孟思 | 申请（专利权）人： | 大连交通大学 |
| 主分类号： | C03C17/25 | 分类号： | C03C17/25 |
| 代理公司： | 21242 大连至诚专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 杨威;刘丽媛<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 116000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 旋涂 致密 预制 薄膜太阳能电池 微观组织结构 前驱体溶液 吸收层材料 热处理 表面形貌 混合溶液 结晶状态 热解过程 溶胶体系 样品热解 凝胶 匀胶 制膜 制备 平整 引入 重复 配置 应用 | ||
1.一种使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1、配制含有Cu2+和Cl-的前驱体溶液，将前驱体溶液在45-90℃恒温装状态下搅拌，过滤后静置陈化，得到溶胶体系；
S2、使用步骤S1制得的溶胶体系旋涂制膜，并进行热解，至少重复一次上述旋涂与热解过程，得到预制薄膜；
S3、将预制薄膜进行热处理，热处理温度不低于400℃，得到CuO薄膜。
2.根据权利要求1所述的使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：步骤S1中，Cu2+的来源为含有铜元素的盐，Cl-的来源为含有氯元素的盐或酸，将前驱体溶液在60℃水浴锅中搅拌3h，过滤后静置陈化，得到溶胶体系。
3.根据权利要求2所述的使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：Cu2+的来源为CuCl2、Cu(NO3)2或Cu(CH3COO)2，Cl-的来源为CuCl2、NH4Cl或HCl。
4.根据权利要求2所述的使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：步骤S1中，水浴温度为60℃，搅拌时间为3h，过滤后静置时间为48h。
5.根据权利要求3所述的使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：所述前驱体溶液中Cl-与Cu2+的摩尔比的范围是0.05～3。
6.根据权利要求1所述的使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：步骤S2中，以玻璃为基片，在匀胶机上进行旋涂制膜，匀胶机转速为5500r/min，旋转时间为15s。
7.根据权利要求1所述的使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：步骤S2中，热解温度为100～450℃。
8.根据权利要求1所述的使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：步骤S2中，重复旋涂与热解过程10次。
9.根据权利要求1所述的使用溶胶-凝胶旋涂法制备致密CuO薄膜的方法，其特征在于：步骤S3中，热处理温度范围在400℃～600℃。
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