[发明专利]一种用于形变测量的散斑制作工具及方法在审
申请号: | 201910923070.7 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN110567390A | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 梁建峰;陈灿荣;林隽颖 | 申请(专利权)人: | 广州市元奥仪器有限公司 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16;G01N1/28 |
代理公司: | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 朱晓敏 |
地址: | 510030 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 散斑 掩膜板 光源组件 升降组件 竖直支撑杆 喷涂组件 制作工具 试件 底板 制作良品率 材料分析 底板安装 工具包括 技术测量 人为因素 上下调节 数字图像 形变测量 应变分布 光刻胶 喷涂 制作 应用 测量 保证 | ||
1.一种用于形变测量的散斑制作工具,其特征在于,包括:光源组件、掩膜板、底板、竖直支撑杆、升降组件和第一喷涂组件;
所述光源组件、掩膜板连接于升降组件,所述掩膜板安装于光源组件的下方,所述底板安装于掩膜板的下方,所述底板用于放置试件,所述竖直支撑杆设置于底板上,所述升降组件安装于竖直支撑杆上,且所述升降组件在竖直支撑杆上的位置可上下调节,所述第一喷涂组件用于对试件喷涂光刻胶。
2.根据权利要求1所述的一种用于形变测量的散斑制作工具,其特征在于:
所述光源组件包括准直扩束镜和发光装置;
所述发光装置安装于准直扩束镜的光束入口处,所述掩膜板安装于准直扩束镜的光束出口处的下方。
3.根据权利要求2所述的一种用于形变测量的散斑制作工具,其特征在于,还包括:透镜组件,所述透镜组件连接于升降组件,所述透镜组件安装于掩膜板和底板之间,且所述透镜组件包括凹/凸球面透镜和凹/凸非球面透镜。
4.根据权利要求3所述的一种用于形变测量的散斑制作工具,其特征在于,还包括:第二喷涂组件,所述第二喷涂组件用于对试件喷涂底漆。
5.一种用于形变测量的散斑制作方法,用于通过权利要求4中所述的散斑制作工具制作散斑,
其特征在于,包括以下步骤:
将试件放置在底板上并开启光源组件;
调整透镜组件和升降组件,使得光线透过掩膜板所形成的图像与试件上的预设测量区域重合;
在试件上的预设测量区域喷涂光刻胶;
喷涂光刻胶后达到预设时间时,关闭光源组件;
从底板上取出试件,清理试件上未固化的光刻胶。
6.根据权利要求5所述的一种用于形变测量的散斑制作方法,其特征在于:所述调整透镜组件和升降组件,使得光线透过掩膜板所形成的图像与试件上的预设测量区域重合这一步骤,其具体包括:
当所述图像未能覆盖试件上的预设测量区域时,将所述透镜组件调整为凹透镜效果;
当所述图像完全超出试件上的预设测量区域时,将所述透镜组件调整为凸透镜效果。
7.根据权利要求6所述的一种用于形变测量的散斑制作方法,其特征在于:所述调整透镜组件和升降组件,使得光线透过掩膜板所形成的图像与试件上的预设测量区域重合这一步骤,其还包括:
当所述透镜组件为凹透镜效果且所述图像未能覆盖试件上的预设测量区域时,向上调整升降组件使得光线透过掩膜板所形成的图像与试件上的预设测量区域重合;
当所述透镜组件为凹透镜效果且所述图像完全超过试件上的预设测量区域时,向下调整升降组件使得光线透过掩膜板所形成的图像与试件上的预设测量区域重合;
当所述透镜组件为凸透镜效果且所述图像未能覆盖试件上的预设测量区域时,向下调整升降组件使得光线透过掩膜板所形成的图像与试件上的预设测量区域重合;
当所述透镜组件为凸透镜效果且所述图像完全超过试件上的预设测量区域时,向上调整升降组件使得光线透过掩膜板所形成的图像与试件上的预设测量区域重合。
8.根据权利要求5-7任一项所述的一种用于形变测量的散斑制作方法,其特征在于,还包括以下步骤:调整底板上所述试件的位置,使得光线透过掩膜板所形成的图像与试件上的预设测量区域重合。
9.根据权利要求5所述的一种用于形变测量的散斑制作方法,其特征在于:所述在试件上的预设测量区域喷涂光刻胶这一步骤之前,还包括以下步骤:在试件上的预设测量区域喷涂底漆。
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