[发明专利]一种菲涅耳波带片的中心结构的制作方法及波带片在审
申请号: | 201910921077.5 | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN112558205A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 文庆涛;卢维尔;夏洋;李楠;赵丽莉;冷兴龙;何萌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 菲涅耳 波带片 中心 结构 制作方法 | ||
1.一种菲涅耳波带片的中心结构的制作方法,其特征在于,包括:
剥除原料光纤外表的涂覆层,获得预备光纤;
对所述预备光纤进行拉伸,使所述预备光纤上剥除所述涂覆层的部分的直径达到目标直径范围,获得拉锥结构;
基于所述拉锥结构的直径均匀度,在所述拉锥结构上确定至少两个切割位置,对所述切割位置进行切割获得用于制备菲涅耳波带片的中心结构。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对所述预备光纤进行拉伸,使剥除所述涂覆层部分的所述原料光纤的直径达到目标直径范围,获得拉锥结构,包括:
将所述预备光纤固定在进行拉锥的拉锥机上;
控制所述拉锥机对所述预备光纤施加一预拉力;
在所述拉锥机上对所述预备光纤进行加热并拉伸,使所述预备光纤的直径达到目标直径范围,获得拉锥结构。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述在所述拉锥机上对所述预备光纤进行加热并拉伸,包括:
通过控制对所述预备光纤的加热温度、拉伸速度以及拉力大小,对所述拉锥机上的所述预备光纤进行加热并拉伸。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,采用超稳等离子加温设备对所述预备光纤进行加热。
5.根据权利要求2-4任一所述的方法,其特征在于,加热温度为1300-1700℃。
6.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述对所述预备光纤进行拉伸之前,还包括:
采用试样光纤固定在所述拉锥机上;其中,所述试样光纤的尺寸、型号与所述原料光纤相同;
调节所述拉锥机上的所述试样光纤的固定位置,使得所述试样光纤的两端对齐;
将所述试样光纤从所述拉锥机上卸下,并将所述预备光纤按照所述试样光纤的固定位置进行固定。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对所述预备光纤进行拉伸,包括:
采用单向拉锥模式对所述预备光纤进行拉伸。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述拉锥结构的直径均匀度,在所述拉锥结构上确定至少两个切割位置,对所述切割位置进行切割获得用于制备菲涅耳波带片的中心结构,包括:
使用在线超声波切割刀实时扫描所述拉锥结构,获得所述拉锥结构的直径均匀度;
基于所述拉锥结构的直径均匀度,在所述拉锥结构上确定至少两个切割位置;
在所述切割位置进行切割,获得所述拉锥结构中直径均匀的部分。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述预备光纤进行拉伸的拉力为10N-25N,拉伸速度为120μm/s-180μm/s。
10.一种菲涅耳波带片,其特征在于,包括:权利要求1-9任一所述方法制备的中心结构、环绕中心结构的沉积薄膜;所述沉积薄膜包括第一沉积薄膜与第二沉积薄膜,第一沉积薄膜与第二沉积薄膜为两种不同折射率的沉积材料,第一沉积薄膜与第二沉积薄膜交替排列。
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