[发明专利]激光薄膜内耗仪及材料内耗的检测方法

权利要求书

1.一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，包括激光位移传感器、底板、固定在所述底板上的下罩体以及与所述下罩体相配合的上罩体，所述底板、下罩体和上罩体之间形成腔体，所述腔体内设置有试样固定组件、激发电极、加热器以及屏蔽罩，所述下罩体上开设有与所述激光位移传感器对应的光学窗口，所述加热器位于所述屏蔽罩内，所述屏蔽罩用于罩住所述试样以及激发电极，所述屏蔽罩对应所述激光位移传感器开设有贯通孔，所述激发电极朝向所述贯通孔，所述试样位于所述贯通孔与激发电极之间。

2.根据权利要求1所述的一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，所述腔体内还设置有激发电极移动组件，包括滑块、带动所述滑块移动的丝杆以及带动所述丝杆转动的电机，所述激发电极通过固定板固定在所述滑块上，所述电机固定在所述底板上。

3.根据权利要求2所述的一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，所述腔体内设置有隔板，所述隔板通过固定柱固定在所述底板上，所述屏蔽罩固定在所述隔板上，所述隔板上开设有供所述固定板移动的滑槽。

4.根据权利要求2所述的一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，所述激发电极与所述固定板之间设置有绝缘环。

5.根据权利要求1所述的一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，所述试样固定组件包括试样夹头、与试样夹头连接的支撑板以及带动所述支撑板上下移动的升降机构，试样通过夹头螺丝固定在所述试样夹头的下端。

6.根据权利要求1所述的一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，所述加热器均匀分布在所述屏蔽罩的内侧，所述加热器沿所述屏蔽罩的轴向延伸。

7.根据权利要求1所述的一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，所述激光薄膜内耗仪还包括用于带动所述上罩体与所述下罩体分离或贴合的升降组件以及用于对所述腔体进行抽真空的真空泵组。

8.根据权利要求7所述的一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，所述底板上还开设有用于与所述真空泵组连接的真空阀门；所述底板上还设置有减震组件。

9.根据权利要求1所述的一种激光薄膜内耗仪，其特征在于，所述激光位移传感器固定在所述底板上，所述激光位移传感器、光学窗口、贯通孔以及激发电极位于同一轴线上。

10.一种如权利要求1所述的激光薄膜内耗仪检测材料内耗的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1.打开真空腔体：释放真空，启动升降组件，推动上罩体上移，打开腔体；

S2.安装试样：旋松夹头螺丝，将待测试样一端塞入试样夹头的缝隙中，然后拧紧夹头螺丝夹紧试样；

S3.试振：对所述激发电极施加偏置电压，并控制激光位移传感器的激光束照射到试样表面，观察是否有试样的振动信号返回，如果有振动信号则结束试振；如果没有振动信号则试样与激发电极的位置，直至出现振动信号；

S4.关闭真空腔体：启动升降组件，下移上罩体直至其与下罩体贴合，腔体密闭，打开真空阀门，启动真空泵组，进行抽真空；

S5.设置参数：设置测试参数，启动测试程序；

S6：测试：采集振动信号，并计算出内耗与弹性模量值，得到结果并进行分析；

S7：关闭系统：测试结束，停止测试程序，将偏压电源调整至零，关闭控制系统。