[发明专利]真空干燥设备及监控装置

说明书

本公开提供一种真空干燥设备及监控装置，涉及成膜工艺技术领域。本公开的监控装置用于对一打印层进行监测，包括监控探头、控制组件和驱动机构。监控探头与打印层正对设置，且包括光路系统、光源和感应组件，光源设有朝向光路系统的出光孔，感应组件设有朝向光路系统的入光孔，光路系统用于在光路系统靠近打印层的一侧形成出光孔的共轭图像，且入光孔与共轭图像共轭；感应组件用于根据进入入光孔的光线输出感应信号。控制组件用于输出控制信号，直至感应信号的强度达到阈值时停止。驱动机构与监控探头连接，用于响应控制信号驱动监控探头向打印层移动。本公开监控装置可对打印层的液面变化进行监控，为调整真空干燥设备提供数据。

技术领域

本公开涉及真空干燥技术领域，具体而言，涉及一种真空干燥设备及监控装置。

背景技术

VCD(Vacuum Dry，真空干燥)技术，是喷墨打印等成膜工艺中的重要工序，可通过VCD工艺对打印层进行干燥，以形成所需膜层，在干燥过程中，随着水分的蒸发，打印层的液面会逐渐下降，直至固化成膜。目前，由于缺乏反映打印层液面变化的数据，导致难以根据打印层的变化确定适宜的压强等参数，不利于优化膜层的平坦度，从而影响产品质量。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种真空干燥设备及监控装置，可对打印层的液面变化进行监控，为调整真空干燥设备提供数据。

根据本公开的一个方面，提供一种监控装置，用于对一打印层进行监测，所述监控装置包括：

监控探头，与所述打印层正对设置，且包括光路系统、光源和感应组件，所述光源设有朝向所述光路系统的出光孔，所述感应组件设有朝向所述光路系统的入光孔，所述光路系统用于在所述光路系统靠近所述打印层的一侧形成所述出光孔的共轭图像，且所述入光孔与所述共轭图像共轭；所述感应组件用于根据进入所述入光孔的光线输出感应信号；

控制组件，用于输出控制信号，直至所述感应信号的强度达到阈值时停止；

驱动机构，与所述监控探头连接，用于响应所述控制信号驱动所述监控探头向所述打印层移动。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光路系统包括：

凸透镜，设于所述感应组件和所述打印层之间，且所述凸透镜的光轴垂直于所述打印层，所述入光孔的中心位于所述凸透镜的光轴上；

分光机构，设于所述凸透镜和所述感应组件之间，所述出光孔朝向所述分光机构设置，所述分光机构用于将所述出光孔出射的光线反射向所述凸透镜，且所述分光机构能供穿过所述凸透镜射向所述入光孔的光线通过。

在本公开的一种示例性实施例中，所述分光机构包括：

半透半反镜，与所述凸透镜的光轴相交，且与所述光轴呈预设角度的夹角。

在本公开的一种示例性实施例中，所述预设角度为45°。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光源包括：

发光器件，朝向所述光路系统设置；

第一遮光件，阻隔于所述发光器件和所述光路系统之间，所述出光孔设于所述第一遮光件。

在本公开的一种示例性实施例中，所述发光器件用于发射单色光。

在本公开的一种示例性实施例中，所述感应组件包括：

光电感应器件，朝向所述光路系统设置；

第二遮光件，阻隔于所述光电感应器件和所述光路系统之间，所述入光孔设于所述第二遮光件。