[发明专利]一种测量锑化铟材料PN结深度的方法及系统

权利要求书

1.一种测量锑化铟材料PN结深度的方法，其特征在于，包括：

将形成了PN结结构的锑化铟材料浸入腐蚀剂中腐蚀形成腐蚀坡；

将腐蚀完成后的锑化铟材料放置于去离子水中清洗、吹干；

将吹干后的锑化铟材料放置于阳极氧化装置中进行阳极氧化至所述腐蚀坡表面颜色不同形成两个颜色区；

将氧化后的锑化铟材料放置于去离子水中清洗、吹干；

根据所述腐蚀坡表面颜色的分界，分别测量腐蚀坡的第一宽度和腐蚀坡坡顶颜色分区的第二宽度；

利用台阶仪测量所述腐蚀坡的高度；

根据所述第一宽度、第二宽度和所述腐蚀坡的高度，确定所述PN结的深度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将形成了PN结结构的锑化铟材料浸入腐蚀剂中腐蚀形成腐蚀坡之前，还包括：

根据腐蚀液的腐蚀速度和PN结的预计深度范围，确定腐蚀时间；

将形成了PN结结构的锑化铟材料浸入腐蚀剂中腐蚀形成腐蚀坡，具体包括：

根据确定出的腐蚀时间，将形成了PN结结构的锑化铟材料浸入腐蚀剂中腐蚀相应时间，形成腐蚀坡。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，将形成了PN结结构的锑化铟材料浸入腐蚀剂中腐蚀相应时间，具体包括：

将所述形成了PN结结构的锑化铟材料安放在夹持夹具上，所述夹持夹具固定于机械臂装置上；

利用机械臂控制所述夹持夹具将所述锑化铟材料以预设速率匀速浸入所述腐蚀剂中腐蚀相应时间。

4.根据权利 要求1所述的方法，其特征在于，根据所述第一宽度、第二宽度和所述腐蚀坡的高度，按照以下公式确定所述PN结的深度：

其中：

x表示PN结的深度；

h表示腐蚀坡的高度；

m腐蚀坡的第一宽度；

n表示腐蚀坡的坡顶颜色分区的第二宽度。

5.一种测量锑化铟材料PN结深度的系统，其特征在于，包括：

腐蚀装置，用于将形成了PN结结构的锑化铟材料浸入腐蚀剂中腐蚀形成腐蚀坡；

清洗吹干装置，用于将腐蚀完成后的锑化铟材料放置于去离子水中清洗、吹干；以及将氧化后的锑化铟材料放置于去离子水中清洗、吹干；

阳极氧化装置，用于将清洗吹干装置第一次吹干后的锑化铟材料放置于阳极氧化装置中进行阳极氧化至所述腐蚀坡表面颜色不同形成两个颜色区；

测量装置，用于根据所述腐蚀坡表面颜色的分界，分别测量腐蚀坡的第一宽度和腐蚀坡坡顶颜色分区的第二宽度；

台阶仪，用于测量所述腐蚀坡的高度；

计算装置，用于根据所述第一宽度、第二宽度和所述腐蚀坡的高度，确定所述PN结的深度。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，

所述腐蚀装置，还用于在将形成了PN结结构的锑化铟材料浸入腐蚀剂中腐蚀形成腐蚀坡之前，根据腐蚀液的腐蚀速度和PN结的预计深度范围，确定腐蚀时间；根据确定出的腐蚀时间，将形成了PN结结构的锑化铟材料浸入腐蚀剂中腐蚀相应时间，形成腐蚀坡。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述腐蚀装置包括机械臂，所述机械臂上固定有夹持夹具，所述夹持夹具用于安放所述形成了PN结结构的锑化铟材料；利用机械臂控制所述夹持夹具将所述锑化铟材料以预设速率匀速浸入所述腐蚀剂中腐蚀相应时间。

8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，

所述计算装置，具体用于根据所述第一宽度、第二宽度和所述腐蚀坡的高度，按照以下公式确定所述PN结的深度：

其中：

x表示PN结的深度；

h表示腐蚀坡的高度；

m腐蚀坡的第一宽度；

n表示腐蚀坡的坡顶颜色分区的第二宽度。