[发明专利]一种基于单个金属银纳米颗粒-金属银薄膜的Fano共振结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201910908748.4 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110618478B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李芳;姚付强;韩晓博;刘帅;许立图;刘亚辉 | 申请（专利权）人： | 武汉工程大学 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 单个 金属 纳米 颗粒 薄膜 fano 共振 结构 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于单个金属银纳米颗粒-金属银薄膜的Fano共振结构，其特征在于，包括从上而下依次设置的金属纳米颗粒、透明介质膜和金属薄膜；
所述金属纳米颗粒是Ag 纳米立方体，其直径平均为75nm；
所述金属薄膜为银膜，所述银膜厚度是80nm；
所述透明介质膜为Al2O3薄膜，厚度为2nm。
2.一种根据权利要求1所述的基于单个金属银纳米颗粒-金属银薄膜的Fano共振结构的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：
(1)在绝缘衬底上用电子束蒸发的方法镀一层金属薄膜；
(2)用原子层沉积方法在金属薄膜上沉积一层透明介质膜；
(3)将金属纳米颗粒用滴涂的方法分散在透明介质膜上。
3.根据权利要求2所述的基于单个金属银纳米颗粒-金属银薄膜的Fano共振结构的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述绝缘衬底为硅片。
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