[发明专利]一种高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂

权利要求书

1.一种能够在I线、H线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂，具有如下通式(A)所示结构：

其中，

R₁表示C₁-C₂₀的直链或支链的烷基或氟代烷基、C₆-C₁₈的取代或未取代的芳基、或樟脑基；

R₂-R₇各自独立地表示下列基团：

氢；

卤素；

C₁-C₂₀的直链或支链的烷基或卤代烷基，任选地，其中的-CH₂-可以被-O-所取代；

苯基，任选地，其中的至少一个氢原子可以被C₁-C₈的烷基或烷氧基所取代；

C₇-C₂₀的苯基烷基，任选地，苯基上的至少一个氢原子可以被C₁-C₈的烷基或烷氧基所取代，烷基中的-CH₂-可以被-O-或-S-所取代；

R₁’-CO-，其中R₁’表示C₁-C₁₀的烷基、C₃-C₁₀的环烷基、苯基，且任选地，苯基中的至少一个氢原子可以被C₁-C₈的烷基或烷氧基所取代；

R₂’-CO-O-R₃’-，其中R₂’表示C₁-C₁₀的烷基、苯基，R₃’表示空、C₁-C₈的烷氧基、或C₃-C₈的炔基,任选地，苯基中的至少一个氢原子可以被C₁-C₈的烷基所取代；

R₄’-O-CO-R₅’-，其中R₄’表示C₁-C₁₀的烷基，R₅’表示C₁-C₁₀的亚烷基，且任选地，R₄’和R₅’中的-CH₂-可以被-O-所取代；

C₂-C₁₀的直链或支链的烯基；

以C₃-C₁₀的环烷基或C₆-C₂₀的芳基为封端的C₂-C₈的烯基；

C₂-C₁₀的直链或支链的炔基；

C₁-C₁₀的烷基磺酰氧基，任选地，烷基上的氢可以被氟原子所取代；

或C₆-C₂₀的芳基磺酰氧基；

前提是R₂-R₇不同时为氢。

2.根据权利要求1所述的磺酰亚胺类光产酸剂，其特征在于：R₁为C₁-C₆的直链或支链的全氟代烷基、全氟代苯基、至少一个氢原子被C₁-C₆的烷基或氟代烷基所取代的苯基、或樟脑基。