[发明专利]一种超声换能器及其参数配置方法

权利要求书

1.一种超声换能器的参数配置方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一个超声换能器，所述超声换能器包括：上电极、振膜、绝缘层、衬底，所述衬底掺杂预设物质形成具有导电特性的下电极，所述绝缘层由具有电荷存储能力的预设材料制成；

所述上电极设置于所述振膜的外表面，所述绝缘层相对于所述振膜的内表面进行设置，且所述振膜与所述绝缘层之间形成空腔，所述绝缘层设置于所述衬底的第一表面，所述第一表面为所述衬底的靠近所述振膜的表面；

在所述衬底施加预设电压，所述衬底的电荷在所述预设电压的作用下隧穿至所述绝缘层，使得所述绝缘层存储有预设数量的电荷，所述预设数量的电荷用于配置所述超声换能器的带宽分数增大为预设带宽分数，和配置所述超声换能器的共振频率为预设频率；

其中，所述绝缘层存储的电荷的数量与所述超声换能器的带宽分数之间的关系为正比例关系，所述绝缘层存储的电荷的数量与所述超声换能器的共振频率之间的关系为反比例关系；所述方法还包括：调整所述预设电压以调整所述绝缘层存储的电荷的数量，使得所述超声换能器的带宽分数和共振频率发生变化；其中，所述电荷产生静电场，通过所述电荷形成的静电力调整所述带宽分数和共振频率。