[发明专利]微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法

权利要求书

1.微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

a、溶胶制备：将乙酰丙酮氧钒、聚乙烯吡咯烷酮和无水甲醇配制得二氧化钒前驱溶胶，室温搅拌，静置，得感光二氧化钒前驱溶胶；

b、凝胶膜制备：将感光二氧化钒前驱溶胶涂覆于基片上获得含钒凝胶膜；

c、凝胶膜微细加工：将含钒凝胶膜进行烘制，覆盖掩膜板后在紫外灯下曝光，浸入无水甲醇和正丁醇的混合溶液溶洗，得含钒凝胶膜微细图形；

d、将含钒凝胶膜微细图形进行热处理即得微米厚度二氧化钒薄膜微细图形。

2.根据权利要求1所述的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤a中，乙酰丙酮氧钒和聚乙烯吡咯烷酮的用量使二氧化钒前驱溶胶中钒离子与聚乙烯吡咯烷酮的摩尔比为2:1～10:1。

3.根据权利要求1或2所述的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤a中，无水甲醇的加入量使二氧化钒前驱溶胶的浓度为0.1～0.5mol/L。

4.根据权利要求1～3任一项所述的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤a中，所述搅拌的时间为6～10h；所述静置的时间为36～72h。

5.根据权利要求1～4任一项所述的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤b中，所述将感光二氧化钒前驱溶胶涂覆于基片上是通过浸渍提拉法或旋涂法在硅基片或玻璃基片上获得含钒凝胶膜；所述浸渍提拉法的提拉速度为1～3mm/s；所述旋涂法的旋转速度为2000～4000rpm，时间为10～30s。

6.根据权利要求1～5任一项所述的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤c中，所述紫外灯的波长为240～400nm；所述曝光的时间为60～120min。

7.根据权利要求1～6任一项所述的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤c中，所述无水甲醇和正丁醇的混合溶液中，无水甲醇与正丁醇的体积比为1:1～5:1；所述溶洗的时间为10～30s。

8.根据权利要求1～7任一项所述的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤d中，所述热处理是将含钒凝胶膜微细图形在550～750℃，在氮气保护下保温60～150min。

9.根据权利要求1～8任一项所述的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤d中，所述热处理过程中升温的速率为5～15℃/min。

10.权利要求1～9任一项所述的制备方法制备得到的微米厚度二氧化钒薄膜微细图形。