[发明专利]一种多层陶瓷基板制作方法和系统在审
| 申请号: | 201910903738.1 | 申请日: | 2019-09-24 |
| 公开(公告)号: | CN110572934A | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
| 发明(设计)人: | 成鹏;刘俊 | 申请(专利权)人: | 深圳市瑞丰光电紫光技术有限公司 |
| 主分类号: | H05K1/03 | 分类号: | H05K1/03;H05K3/02;H05K3/46 |
| 代理公司: | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 洪铭福 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 流延 多层陶瓷基板 初始基板 多层基板 导电层 重叠板 生胚 排胶炉 烧结炉 冲压 胚体 结构要求 新工艺 陶瓷 制作 | ||
1.一种多层陶瓷基板制作方法,其特征在于,包括:
将流延胚体冲压形成流延生胚;
在所述流延生胚的表面生成导电层,基于所述导电层生成线路,得到初始基板;
重叠所述初始基板,得到重叠板;
基于排胶炉处理所述重叠板得到多层基板;
基于烧结炉处理所述多层基板,得到多层陶瓷基板。
2.根据权利要求1所述的一种多层陶瓷基板制作方法,其特征在于,所述导电层为金属的导电层,对应的,基于蚀刻或者曝光的方式处理所述导电层以生成线路。
3.根据权利要求1所述的一种多层陶瓷基板制作方法,其特征在于,还包括:
在所述重叠板或所述多层基板或所述多层陶瓷基板上,执行钻孔、通孔镀铜。
4.根据权利要求1所述的一种多层陶瓷基板制作方法,其特征在于,所述流延生胚的表面生成导电层包括:
在流延生胚的一表面生成导电层,或在流延生胚的两表面生成导电层,对应的,
所述重叠板中,接触面包括一层导电层;
或者,所述重叠板中,接触面包括二层导电层,且对应的线路一致。
5.根据权利要求1所述的一种多层陶瓷基板制作方法,其特征在于,所述排胶炉根据预设的温度曲线升温至600°,在4小时内保持温度以处理所述重叠板得到多层基板。
6.根据权利要求1~5任一项所述的一种多层陶瓷基板制作方法,其特征在于,所述烧结炉为氮气烧结炉,用于根据预设的温度曲线,在4小时内从1400°升温至1650°,无压烧结所述多层基板,得到错层陶瓷基板。
7.根据权利要求1所述的一种多层陶瓷基板制作方法,其特征在于,生成所述流延胚体包括:
将陶瓷粉、三氧化二镝、分散剂和增塑剂,通过球磨、真空除泡和流延成型,得到流延胚体。
8.根据权利要求7所述的一种多层陶瓷基板制作方法,其特征在于,所述分散剂包括二甲苯、无水乙醇的1:1混合物和油酸,对应的重量比为3wt%和40wt%;
所述增塑剂包括聚乙烯醇缩丁醛、聚乙二醇的1:2.5混合物和邻苯二甲酸二丁酯,对应的重量比为5wt%和10wt%;
所述陶瓷粉和所述三氧化二镝的重量比为65wt%:35wt%。
9.一种多层陶瓷基板制作系统,其特征在于,包括:
冲压模块,用于将流延胚体冲压形成流延生胚;
线路制作模块,用于在所述流延生胚的表面生成导电层,基于所述导电层生成线路,得到初始基板;
组合模块,用于重叠所述初始基板,得到重叠板;
排胶模块,用于基于排胶炉处理所述重叠板得到多层基板;
烧结模块,用于基于烧结炉处理所述多层基板,得到多层陶瓷基板。
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