[发明专利]一种三轴多级罗茨泵的驱动结构有效

专利信息
申请号: 201910901006.9 申请日: 2019-09-23
公开(公告)号: CN110594156B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 荣易;李悦;沈淼乐 申请(专利权)人: 兑通真空技术(上海)有限公司
主分类号: F04C29/00 分类号: F04C29/00;F04C29/02;F04C25/02;F04C18/12;F04C23/00;F04C27/00
代理公司: 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 代理人: 邱丹
地址: 200120 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 多级 罗茨泵 驱动 结构
【说明书】:

一种三轴多级罗茨泵的驱动结构,包括泵体,齿轮端盖安装在泵体的侧面,泵体的另一侧安装有排气端移动轴承气封单元,轴承端盖安装在泵体的侧面;泵体内部还设置有主动轴、第一从动轴和第二从动轴,主动轴通过齿轮分别与第一从动轴和第二从动轴传动连接;主动轴、第一从动轴和第二从动轴的两端分别活动连接在进气端齿轮机械密封驱动单元和排气端移动轴承气封单元内。本发明克服了现有技术的不足,通过固定轴承限位单元不仅起到径向的支撑作用,加强了独立轴的刚性,可以减小轴的直径,同时在轴向形变过程中,向两轴端均匀进行,避免单一方向形变,减少了近一半的位移量。同时还提高了系统的密封效率。

技术领域

本发明涉及罗茨泵的驱动技术领域,具体涉及一种三轴多级罗茨泵的驱动结构。

背景技术

三轴多级罗茨泵是一种全新无油干式真空泵,每级泵腔内均设置有三根平行的轴,三根泵轴同速转动且中泵轴与其相邻的左侧泵轴和其相邻的右侧泵轴转动的方向相反;每级泵腔内均设置有成对转子,奇数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和其相邻的左侧泵轴,偶数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和其相邻的右侧泵轴上。从而形成了独特的气流通道,即相邻泵腔的下方口分别是排气口和进气口,气流从前一级的排气口直接进入后一级的进气口。这种独特的结构,相比螺杆式、涡旋式、往复式等干式真空泵,具有抽气能力大,容积效率高,功率低,不怕粉尘,不怕腐蚀,使用寿命长等优点。

但现有的三轴多级罗茨泵的驱动结构比较复杂,是每一级泵腔都采用独立的三根轴,相邻级数之间的轴通过子母嵌套,为滑动连接,并通过键实现同心同步旋转,每个独立的轴都是采用固定轴承限位,实现不同级数的泵腔内的轴是独立的热膨胀位移。在实际运行中,由于零件数量多,结构复杂,造成累积误差非常大,且不能消除,造成多级泵腔内转子啮合度不高,很容易造成碰擦现象,而且每根独立的轴都需要固定轴承限位,轴承数量太多,在高速转动时,发生很大的噪音。而且不同级数之间的轴通过子母嵌套,强度不够,母轴与子轴的扭矩的传导中及其容易造成子轴根部的断裂。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明提供了一种三轴多级罗茨泵的驱动结构,克服了现有技术的不足,设计合理,通过主动轴上的齿轮带动左右两边的第一从动轴和第二从动轴上的齿轮同步转动,继而带动第一从动轴和第二从动轴转动,通过主动轴、第一从动轴和第二从动轴三根完整的独立轴进行同步旋转;并且通过设置固定轴承限位单元,不仅起到径向的支撑作用,加强了独立轴的刚性,可以减小轴的直径,同时在力、热的轴向形变过程中,向两轴端均匀进行,避免单一方向形变,减少了近一半的位移量。大幅减少了转子泵腔内的转子与转子腔体预留的端面间隙。从而不仅提高了结构的稳定性,减低碰擦的隐患,同时还提高了系统的密封效率。

为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:

一种三轴多级罗茨泵的驱动结构,包括泵体,所述泵体的一侧安装有进气端齿轮机械密封驱动单元,所述进气端齿轮机械密封驱动单元外表面安装有齿轮端盖,所述齿轮端盖固定安装在泵体的侧端面,所述齿轮端盖的外表面固定安装有电机连接座,所述泵体的另一侧安装有排气端移动轴承气封单元,所述排气端移动轴承气封单元外表面安装有轴承端盖,所述轴承端盖固定安装在泵体的侧端面;所述泵体内部还设置有主动轴、第一从动轴和第二从动轴,所述第一从动轴和第二从动轴分别位于主动轴的两侧,所述主动轴外表面固定安装有齿轮,所述主动轴通过齿轮分别与第一从动轴和第二从动轴传动连接;所述主动轴、第一从动轴和第二从动轴的一端分别活动连接在一组进气端齿轮机械密封驱动单元内,所述主动轴、第一从动轴和第二从动轴的另一端分别活动连接在一组排气端移动轴承气封单元内。

优选地,所述泵体包括一级泵壳、二级泵壳和三级泵壳,所述一级泵壳、二级泵壳和三级泵壳依次固定连接,所述齿轮端盖固定安装在一级泵壳外表面,所述轴承端盖固定安装在三级泵壳外表面,所述一级泵壳内开设有一级转子泵腔,所述二级泵壳内开设有二级转子泵腔和三级转子泵腔,所述三级泵壳内开设有四级转子泵腔和五级转子泵腔,所述一级转子泵腔、二级转子泵腔、三级转子泵腔、四级转子泵腔和五级转子泵腔内的转子均安装在主动轴、第一从动轴和第二从动轴上。

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