[发明专利]一种针对3D曲面车载屏的黄光技术工艺在审
| 申请号: | 201910900741.8 | 申请日: | 2019-09-23 |
| 公开(公告)号: | CN112540509A | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
| 发明(设计)人: | 易奎;牛建超;耿岳帅;张源松;郭成伟 | 申请(专利权)人: | 河北叁迪光学科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/40 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 050000 河北省石家庄市辛集经*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 针对 曲面 车载 技术 工艺 | ||
1.一种针对3D曲面车载屏的黄光技术工艺,其特征在于:包括以下步骤:
对3D曲面车载屏进行清洁至水滴角小于十度;
在3D曲面车载屏上喷涂负性光阻,形成光阻涂布层;
软烘光阻涂布层,使之凝固在3D曲面车载屏上;
将预设图案曝光在光阻涂布层上;
对光阻涂布层进行显影处理;
硬烤光阻涂布层,使之附着在3D曲面车载屏上。
2.根据权利要求1所述的一种针对3D曲面车载屏的黄光技术工艺,其特征在于:上述所述步骤重复一次。
3.根据权利要求1所述的一种针对3D曲面车载屏的黄光技术工艺,其特征在于:所述喷涂负性光阻所用喷枪喷口内径在0.8微米以下。
4.根据权利要求1所述的一种针对3D曲面车载屏的黄光技术工艺,其特征在于:所述曝光采用激光直写式。
5.根据权利要求1所述的一种针对3D曲面车载屏的黄光技术工艺,其特征在于:所述硬烤设定温度高于负性光阻的热固化点,时间设定为一小时。
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