[发明专利]一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚及其使用方法

权利要求书

1.一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚，包括保温筒顶座（3）和保温筒外壳体（17），其特征在于：所述保温筒外壳体（17）的上方设置有保温筒顶座（3），所述保温筒顶座（3）的两端设置有固定手环（19），所述保温筒顶座（3）的顶端中间位置处设置有控制阀（1），所述控制阀（1）的左下方设置有高温计（20），所述控制阀（1）的右下方设置有测压口（4），所述控制阀（1）的下方位于保温筒顶座（3）的内部设置有联轴器（2），所述保温筒顶座（3）与保温筒外壳体（17）的固接处设置有密封圈（5），所述保温筒外壳体（17）的底端中间位置处设置有引流口（12），所述引流口（12）的左侧设置有支撑脚（13），所述保温筒外壳体（17）的桶身外壁上端设置有导热油入口（18），所述保温筒外壳体（17）的内部设置有导热油保温层（16），所述导热油保温层（16）的内部设置有保温层（15），所述保温层（15）的内部设置有石英坩埚（10），所述石英坩埚（10）的内部设置有加热元件（8），所述加热元件（8）的内部位于联轴器（2）的下方设置有石墨坩埚（6），所述石墨坩埚（6）的下方设置有坩埚底座（7），所述坩埚底座（7）的下方设置有中心轴（11），所述中心轴（11）的左右两侧设置有固定支架（9）,所述固定支架（9）的下方设置有夹持座（14），所述保温筒顶座（3）的上方设置有电机（22），所述电机（22）的下方设置有电机转轴（21），所述电机转轴（21）的下方设置有固定横梁（24），所述电机转轴（21）的底端位于固定横梁（24）的中间位置处设置有中心轴承（23），所述中心轴（11）的底端设置有轴承（25），所述保温筒顶座（3）的底端设置有顶座螺块（26），所述顶座螺块（26）的下方位于保温筒外壳体（17）的顶端位置处设置有保温筒螺槽（27），所述加热元件（8）和电机（22）均匀外部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚，其特征在于：所述电机（22）与石英坩埚（10）之间通过中心轴承（23）转动连接，所述电机（22）与中心轴承（23）之间通过电机转轴（21）转动连接，所述石墨坩埚（6）的顶端与中心轴承（23）之间通过联轴器（2）转动连接，所述石墨坩埚（6）的底端与石英坩埚（10）之间通过中心轴（11）和轴承（25）转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚，其特征在于：所述保温层（15）与保温筒外壳体（17）之间一体成型，所述保温层（15）的材料为岩棉、矿渣棉、玻璃棉和微孔硅酸钙的混合物。

4.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚，其特征在于：所述导热油保温层（16）位于保温层（15）的外部，所述导热油保温层（16）将保温层（15）完全包裹，所述导热油保温层（16）位于保温层（15）通过导热油入口（18）添加导热油进行保温。

5.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚，其特征在于：所述顶座螺块（26）与保温筒顶座（3）一体成型，所述保温筒顶座（3）与保温筒外壳体（17）之间通过顶座螺块（26）和保温筒螺槽（27）螺纹拆卸连接，所述保温筒顶座（3）与保温筒外壳体（17）的固合处通过密封圈（5）密封连接。

6.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚，其特征在于：所述石英坩埚（10）的顶端与固定横梁（24）之间通过中心轴承（23）转动连接，所述石英坩埚（10）位于保温筒外壳体（17）的内部，所述石英坩埚（10）紧贴保温筒外壳体（17）的内壁，两者的距离在1cm-2cm之间。

7.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚，其特征在于：所述测压口（4）包括压力表（28）和泄压阀（29），所述测压口（4）的左侧设置有泄压阀（29），所述测压口（4）与泄压阀（29）之间通过螺栓固定连接，所述泄压阀（29）的左侧设置有压力表（28），所述泄压阀（29）与压力表（28）之间焊接固定。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将多品硅放入到石墨坩埚（6）中；

S2、将保温筒顶座（3）与保温筒盖好，通过密封圈5进行密封；

S3、将导热油从导热油入口（18）添加到导热油保温层（16）内，加满后关闭入口阀门；

S4、打开电源开关，让坩埚内开始加热，对多品硅进行加热处理；

S5、电机（22）通过转轴带动坩埚进行转动，让多品硅受热均匀；

S6、对多品硅加工处理后，通过保温筒对其进行保温处理即可。