[发明专利]一种基板夹持承载台

权利要求书

1.一种基板夹持承载台，包括电机A、承载台及升降CUP，其中电机A的输出端与承载台相连、驱动承载台旋转，所述电机A外围设有可升降的升降CUP；其特征在于：所述承载台(2)上沿圆周方向设置有N个pin，相邻两个pin之间最长的弧长小于或等于所承载基板(25)的二分之一周长；所述pin中具有平移pin(8)，所述承载台(2)上安装有移动槽(9)，该移动槽(9)内分别设有电机C(7)及动力源，所述动力源通过传动机构与电机C(7)连接、驱动电机C(7)沿承载台(2)的径向往复移动，所述电机C(7)的输出端与平移pin(8)相连，该平移pin(8)具有转动及沿承载台(2)的径向往复移动两个自由度；所述电机A(1)上安装有导电滑环(3)，所述电机C(7)及动力源所需供电及信号线路均通过导电滑环与外部连接，工艺单元所需的背部处理液体、气体通过所述电机A(1)与导电滑环(3)的同心中空轴供应至承载台(2)的上方，对基板(25)的背部进行工艺处理。

2.根据权利要求1所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述N≥3，所述平移pin(8)的数量为1～N个。

3.根据权利要求1所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述承载台(2)上除平移pin(8)外的其他pin为转动pin(6)和/或为固定pin。

4.根据权利要求3所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述承载台(2)上安装有数量与转动pin(6)相同的电机B(5)，每个电机B(5)的输出端均连接一个转动pin(6)、驱动转动pin(6)旋转。

5.根据权利要求1所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述承载台(2)上开设有数量与平移pin(8)相同的条形孔(24)，每个平移pin(8)均在一个条形孔(24)内沿所述承载台(2)的径向往复移动。

6.根据权利要求5所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述条形孔(24)的边缘向上延伸、形成上翻边(22)，所述平移pin(8)上设有下翻边(23)，该下翻边(23)位于所述上翻边(22)的外部，且上、下翻边(22、23)有部分重叠。

7.根据权利要求1所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述动力源为安装在移动槽(9)上或安装在承载台(2)上的电机D(10)，所述传动机构包括丝杠(11)、螺母(12)及弹簧A(14)，该丝杠(11)连接于所述电机D(10)的输出端，丝杠(11)上螺纹连接有螺母(12)，所述弹簧A(14)的一端与螺母(12)相连，另一端连接于所述电机C(7)上。

8.根据权利要求1所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述动力源为安装在移动槽(9)上或安装在承载台(2)上的电磁铁(16)，所述传动机构包括固定块(17)、弹簧B(18)及磁铁(19)，该固定块(17)安装在移动槽(9)上或安装在承载台(2)上，且位于所述电磁铁(16)与电机C(7)之间，所述电机C(7)上安装有磁铁(19)，该磁铁(19)与固定块(17)之间通过弹簧B(18)相连。

9.根据权利要求7或8所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述移动槽(9)的底面上安装有滑轨(15)，所述电机C(7)通过滑块(13)与该滑轨(15)滑动连接。

10.根据权利要求7或8所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述移动槽(9)内设有支撑轴(20)，所述电机C(7)通过直线轴承(21)与该支撑轴(20)相连。